サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
あらゆる環境下で確実に真空封止
高真空シリンダーバルブSERIES 25.2は、サブファブプロセスのような、腐食性ガスやパーティクルを含むガスが存在する過酷なプロセス環境での使用を想定して設計されています。このシリーズには、アングル（25.0）、インライン（25.1）、3/2ウェイ設計（25.2）があり、各バージョンで最大のコンダクタンスが得られるようレイアウトされています。
高真空シリンダーバルブSERIES 25.2は、耐久性と高い稼働率を実現するために、シリンダー設計の高コンダクタンスの利点とシール寿命の向上を組み合わせたシール保護システムを採用しています。このシール保護システムはシリンダーのTILT-TURN-TILT動作と連動しており、シリンダーがゲートシールをバルブシートから離すリフト動作を行うことによって摩擦を避け、シールの摩耗やパーティクルの発生を効果的に防ぎます。また全開時（90°回転後）には、TILT-TURN-TILT動作でシールをバルブ本体に軽く押し付けることによって、ガス流に含まれる潜在的なパーティクルからもシールを保護します。停電が発生したときは、バルブ機構は開位置または閉位置にロックされ、最後のバルブ位置が維持されます。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある高真空シリンダーバルブSERIES 25.2は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
ゲートをティルト（TILT）動作させる。ゲートシールをバルブシートから持ち上げる。
開位置に対してゲートが90°回転（TURN）する。
バルブボディに対してゲートをティルト（TILT）動作させる。ゲートシールが保護される。
HVシリンダーバルブSERIES 25.2には圧空作動式があり、電磁弁は外部取り付けアクセサリーとしてお選びいただけます。バルブ位置はLEDで表示されます（10～30 VDC、5～100 mA）。
接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-KF「クロー」です。標準のゲートシールはFKMです。お客様指定のフランジにも対応可能です。加熱カートリッジや標準以外のシーリング材、ステンレス鋼バージョンのような特殊な機能もご用意しております。
HVシリンダーバルブSERIES 25.2の主な特徴
特徴：
- 過酷な環境に耐える、信頼性の高い実証済みの設計
- シールを保護するTILT-TURN-TILT機構
- 最大コンダクタンス
メリット：
- 信頼性の高いパフォーマンス
- 手間いらずの簡単メンテナンス
- 低コスト
技術データ
サイズ(DN)
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
アクチュエータ
空気圧式、複動式
ボディ素材
アルミニウム
標準フランジ
ISO-KF
ISO-KF「クロー」
ISO-KF「クロー」
漏れ率
バルブ本体
< 1 x 10-9 mbar ls-1
バルブシート
< 1 x 10-9 mbar ls-1
圧力範囲
1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)
ゲートにかけ得る差圧
閉方向
≤ 1.2 bar
開方向
≤ 3.0 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1.2 bar
第1回サービスまでのサイクル数
100 000
温度
バルブ本体
≤ 120°C
アクチュエータ
≤ 120°C
位置インジケーター
≤ 80 °C
材質
バルブ本体
EN AW-6060 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AW-6082 (3.2315)
ゲート
EN AW-6082 (3.2315)
Flange
EN AW-6082 (3.2315)
Shaft
AISI 316L (1.4435)
ゲート
A4-80 with Ni-PTFE coating
シール
ボンネット
FKM
ゲート
FKM
フィードスルー
FKM
フィードスルー
ロータリーフィードスルー
取り付け位置
自由
位置インジケーター：接触評価
バルブ本体
≤ 10 – 30 VDC
電流
5 – 100 mA
バルブ位置インジケーター
LED
