電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
詳細情報
あらゆる要件に適応するバリエーション
管内バルブの重要なパフォーマンス指標は、信頼性と可変性です。26.5 高真空管内バルブシリーズはどちらも兼ね備えています。プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 26.5は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。アクチュエーション、フランジ接続、本体材料、またはシーリングのさまざまな設計オプションがあり、ほぼすべての要件に適合します。
26.5は、低ガス放出率が重要なときの、高真空システムのポンプおよび排気に最適です。高差圧に耐え、粒子に敏感な応用でベローズのカプセル化フィードスルーが付いています。また、ベローズのカプセル化は、あらゆるバルブ位置で圧力ピークを防ぎます。
26.5 高真空管内バルブは、信頼性の高い頑丈な中核構造を基礎としており、手動から圧空作動や電磁まで、アクチュエーションのさまざまな設計オプションがあります。DN 10～DN 160mm (0.4インチ～6.4インチ) の26.4は、異なる仕様で、アルミニウムまたはステンレス鋼を選択可能です。接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Kです。
ビジュアル位置インジケーターが標準ですが、電気インジケーターをオプションとして追加できます。バルブを制御する電磁弁は、本体に直接搭載または必要に応じて離して搭載することが可能です。26.5は、選択するシーリングエラストマーによっては、異なる温度状況で使用できます。バルブは、通常開、通常閉、または複動式として供給可能です。この標準オプションに加えて、さらなるカスタマイズが可能です。
高真空管内バルブSERIES 26.5の主な特徴
特徴：
- 設計オプションの多さ
- 高差圧に対する抵抗
- 長期間メンテナンス不要
メリット：
- 抜群の信頼性
- さまざまな要件に合わせて調整可能
技術データ
サイズ(DN)
10 mm (⅜")
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
50 mm (2")
63 mm (2½")
80 mm (6")
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
50 mm (2")
63 mm (2½")
80 mm (6")
アクチュエータ
Manual/Pneumatic Actuator
空気圧式、単動スプリングによる開動作
空気圧式、単動スプリングによる閉動作
空気圧式、複動式
手動、着脱式ハンドホイール
空気圧式、単動スプリングによる閉動作
空気圧式、複動式
手動、着脱式ハンドホイール
Electromagnetic Actuator
電磁式、シリンダースプリングによる閉動作 (NC)
空気圧式、単動スプリングによる閉動作
空気圧式、単動スプリングによる閉動作
ボディ素材
アルミニウム、ステンレス鋼
フィードスルー
ベローズ
標準フランジ
ISO-KF
ISO-K
ISO-K
漏れ率
バルブ本体
< 1 × 10-9 mbar ls-1
バルブシート
< 1 × 10-9 mbar ls-1
圧力範囲
Manual/Pneumatic Actuator
DN 10– 50
1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)
DN 63 – 80
1 × 10-8 mbar to 4 bar (abs)
DN 100– 160
1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)
DN 63 – 80
1 × 10-8 mbar to 4 bar (abs)
DN 100– 160
1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)
Electromagnetic Actuator
DN 10– 40
1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧
開方向
DN 10 – 50
≤ 5.0 bar
DN 63 – 160
≤ 1.2 bar
≤ 5.0 bar
DN 63 – 160
≤ 1.2 bar
閉方向
DN 10 – 50
≤ 5.0 bar
DN 63 – 80
≤ 4 bar
DN 100– 160
≤ 2.0 bar
≤ 5.0 bar
DN 63 – 80
≤ 4 bar
DN 100– 160
≤ 2.0 bar
Electromagnetic Actuator
DN 10– 40
≤ 5.0 bar
≤ 5.0 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数
手動アクチュエータ
DN 10 – 160
≥ 3 Million
≥ 3 Million
圧空アクチュエータ
DN 10 – 80
3 million (NC, NO)
3 million (NC, NO)
Electromagnetic Actuator
DN 100 – 160
1 Million
(NC, double acting)
1 Million
(NC, double acting)
アクチュエータ
DN 10 – 40
200 000
200 000
温度
バルブ本体
Manual/Pneumatic Actuator
≤ 150 °C
Electromagnetic Actuator
≤ 50 °C
≤ 150 °C
Electromagnetic Actuator
≤ 50 °C
アクチュエータ
Manual/Pneumatic Actuator
≤ 120°C
Electromagnetic
≤ 50 °C
≤ 120°C
Electromagnetic
≤ 50 °C
Solenoid Valve & Position Indicator
≤ 80 °C
DN 10 – 80
≤ 50 °C
(DN 100 – 160)
DN 10 – 80
≤ 50 °C
(DN 100 – 160)
材質
Aluminium
EN AW-6060 (3.3206)
EN-AW-6061 (3.3211)
(DN 16 – 63)
EN AW-6063 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42000
DN 80 – 160
EN-AW-6061 (3.3211)
(DN 16 – 63)
EN AW-6063 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42000
DN 80 – 160
Stainless Steel
AISI 304 (1.4301)
(DN 10 – 50)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
(DN 63 – 160)
(DN 10 – 50)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
(DN 63 – 160)
plate
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
ベローズ
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
AISI 316Ti (1.4571)
AISI 316Ti (1.4571)
シール
ボンネット
FKM
plate
FKM
取り付け位置
自由
電磁弁
DN 10 – 80
24 VDC、2.5 W (ご要望による)
DN 100 – 160
24 VDC, 1.0 W (others on request)
24 VDC、2.5 W (ご要望による)
DN 100 – 160
24 VDC, 1.0 W (others on request)
位置インジケーター：接触評価
電圧
Manual/Pneumatic Actuator
≤ 50 VAC/DC
Electromagnetic Actuator
max. 48 VAC / DC
≤ 50 VAC/DC
Electromagnetic Actuator
max. 48 VAC / DC
電流
Manual/Pneumatic Actuator
5 – 100 mA
Electromagnetic Actuator
max. 500 mA
5 – 100 mA
Electromagnetic Actuator
max. 500 mA
Mains Voltage
100 – 120 V / 200 – 240 V / 50 – 60 Hz
作動頻度
20°Cで最大 15 min-1
バルブ位置インジケーター
機械的な目視位置表示付き
