電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
詳細情報
あらゆる要件に適応するバリエーション
管内バルブの重要なパフォーマンス指標は、信頼性と可変性です。26.5 高真空管内バルブシリーズはどちらも兼ね備えています。プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 26.5は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。アクチュエーション、フランジ接続、本体材料、またはシーリングのさまざまな設計オプションがあり、ほぼすべての要件に適合します。
26.5は、低ガス放出率が重要なときの、高真空システムのポンプおよび排気に最適です。高差圧に耐え、粒子に敏感な応用でベローズのカプセル化フィードスルーが付いています。また、ベローズのカプセル化は、あらゆるバルブ位置で圧力ピークを防ぎます。
26.5 高真空管内バルブは、信頼性の高い頑丈な中核構造を基礎としており、手動から圧空作動や電磁まで、アクチュエーションのさまざまな設計オプションがあります。DN 10～DN 160mm (0.4インチ～6.4インチ) の26.4は、異なる仕様で、アルミニウムまたはステンレス鋼を選択可能です。接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Kです。
ビジュアル位置インジケーターが標準ですが、電気インジケーターをオプションとして追加できます。バルブを制御する電磁弁は、本体に直接搭載または必要に応じて離して搭載することが可能です。26.5は、選択するシーリングエラストマーによっては、異なる温度状況で使用できます。バルブは、通常開、通常閉、または複動式として供給可能です。この標準オプションに加えて、さらなるカスタマイズが可能です。
高真空管内バルブSERIES 26.5の主な特徴
特徴：
- 設計オプションの多さ
- 高差圧に対する抵抗
- 長期間メンテナンス不要
メリット：
- 抜群の信頼性
- さまざまな要件に合わせて調整可能
技術データ
| サイズ | DN 10 (⅜")、DN 16 (⅝")、DN 25 (1")、 DN 40 (1½")、DN 50 (2")、DN 63 (2 ½")、 DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6") |
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|---|---|---|---|
| アクチュエータ |
手動式 |
取り外し可能ハンドホイール付き 単動シリンダースプリングによる閉動作 (NC) 、単動シリンダースプリングによる開動作 (NO) 、または複動シリ ンダー 単動シリンダースプリングによる閉動作 (NC) |
|
| ボディ素材 |
アルミニウムまたはステンレス鋼 |
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| フィードスルー |
ベローズ |
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| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-K | ||
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 圧力範囲 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ付きバルブ 電磁式アクチュエータ付きバルブ |
DN 10– 50 DN 63 – 80 DN 100– 160 DN 10– 40 |
1 × 10-8 mbar～5 bar 1 × 10-8 mbar～ 4 bar 1 × 10-8 mbar～2 bar 1 × 10-8 mbar～2 bar |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | 動式/圧空作動式アクチュエータ付きバルブ 開方向 閉方向 電磁式アクチュエータ付きバルブ |
DN 10– 50 DN 63 – 160 DN 10– 50 DN 63 – 80 DN 100– 160 DN 10– 40 |
≤ 2.0 bar ≤ 1.2 bar ≤ 5.0 bar ≤ 4.0 bar ≤ 2.0 bar ≤ 2.0 bar |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1 bar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 手動式アクチュエータ付きバルブ 圧空作動式アクチュエータ付きバルブ 電磁式アクチュエータ付きバルブ |
DN 10 – 160 DN 10 – 80 DN 100 – 160 DN 10 – 40 |
10 000 300万 (NC、NO) 100万 (NC、複動式) 200 000 |
| 許容温度 |
バルブ本体 |
手動式/圧空作動式アクチュエータ付きバルブ 電磁式アクチュエータ付きバルブ |
≤ 150 °C ≤ 50 °C |
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アクチュエータ |
手動式/圧空作動式 電磁式 |
≤ 120 °C ≤ 50 °C |
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| 電磁弁および位置インジケーター | ≤ 80 °C (DN 10 – 80) ≤ 50 °C (DN 100 – 160) |
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| 材料 | アルミニウム | EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6061 (3.3211)、(DN 16 – 63) EN AW-6063 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315) EN AC-42000 (DN 80 – 160) |
|
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ステンレス鋼 |
AISI 304 (1.4301) (DN 10 – 50) AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 160) |
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|
プレート |
AISI 316L (1.4404、1.4435) | ||
|
ベローズ |
AISI 316L (1.4404、1.4435)、AISI 316 Ti (1.4571) | ||
| シール |
ボンネット、プレート |
FKM (Viton®) | |
| 取り付け位置 | 自由 | ||
| 電磁弁 | DN 10 – 80 DN 100 – 160 |
24 VDC, 2.5 W (ご要望による) 24 VDC, 1.0 W (ご要望による) |
|
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ付きバルブ 電磁式アクチュエータ付きバルブ |
5 – 50 VAC / DC 最大48 VAC / DC |
| 電流 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ付きバルブ 電磁式アクチュエータ付きバルブ |
5 – 100 mA 最大500 mA |
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| 主電圧 | 電磁式アクチュエータ付きバルブ | 100 – 120 V / 200 – 240 V / 50 – 60 Hz | |
| 動作周波数 | 電磁式アクチュエータ付きバルブ | 20 °Cで最大15 min-1 at | |
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | ||
