サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
信頼性の高い高速保護
最新のシャットオフバルブにまず求められるのは、逆流現象が発生したときに確実かつ迅速に緊急隔離できることです。25.7は、高感度で高速な隔離機能を提供することで、プロセスチャンバーやパイプシステムへの逆流のリスクを確実に防ぐように設計されています。
フロー制御式の高真空クイックシャットオフバルブ25.7は、サブシステム（センサーとアクチュエータ）を一切使用しないダイレクトオペレーション設計により、複雑さと故障のリスクを抑えた高速隔離を実現。1 barの差圧では最初の逆流インパルスから完全に隔離されるまで10ミリ秒未満と、25.7はクラスをリードするバルブです。
安全ソリューションとしてのシャットオフバルブは、システムにコンダクタンスバリアを追加しないことが理想的です。フローが最適化されるように特殊に設計された25.7 は、この点において基準を打ち立てる製品で、高コンダクタンスと高速隔離の完璧なバランスを実現しています。
フォアライン用途など、ガスの流れに副生成物が含まれるプロセスでクイックシャットオフバルブを使用する場合、汚れが蓄積することでコンダクタンスが低下し、隔離機能に悪影響を及ぼす恐れがあります。25.7では、表面に特殊なコーティングを施すことでこれを防止。このコーティングにより、ほとんどの副生成物の蓄積を大幅に抑えることができます。またバルブ表面でのプロセスガスの凝縮を避けるために、追加の加熱オプションもお選びいただけます。
開
逆流が発生した際に緊急閉止
逆流
高真空クイックシャットオフバルブ25.7のサイズはDN 50～160 mm（2"～6"）からお選びいただけます。バルブ本体はステンレス製。標準フランジは、ISO-KではDN 63～DN 160（2½"～6"） 、ISO-KFではDN 50（2"）です。
腐食性の高いプロセスガスを使用する用途には、FFKMシールをお選びいただけます。
高真空クイックシャットオフバルブ25.7の主な特徴
特徴：
- フロー制御された動作
- 圧倒的に短い反応時間
- 最適化されたコンダクタンス
- 副生成物による汚染を最小限に抑える特殊な表面コーティング
メリット：
- 高い保護性能
- 長寿命
- 簡単なインストール
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 100 (4"), DN 160 (6") | ||
|---|---|---|---|
| ボディ素材 | ステンレス鋼 | ||
| 標準フランジ | ISO-K | ||
| リークレート | バルブボディ バルブシート |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-6 mbar ls-1 |
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| 使用圧力範囲 | 真空～1.2 bar (abs) | ||
| 差圧 | ゲート部 | ≤ 1 bar | |
| コンダクタンス (層流) | DN 100 DN 160 |
6000 ls-1 20000 ls-1 |
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| 第1回サービスまでのサイクル数 | 逆流現象が発生するたび、または定期的なメンテナンスサ イクルでの実施を推奨 | ||
| 許容温度 | ゲートバルブ | ≤ 200 °C | |
| 加熱および冷却速度 | ≤ 50 °C h-1 | ||
| 材質 | バルブボディ ゲート |
AISI 304 (1.4301) AISI 304 (1.4301) |
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| シール | ボンネット ゲート |
FKM FKM |
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| 取り付け位置 | フォアラインの取付けは垂直方向のみ ゲートをチャンバーに向ける |
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| トリガー圧力 | ゲート位置でΔP | ≥ 5 mbar | |
| 閉時間 | ゲート移動時間 DN 100 DN 160 |
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| 重量 | DN 100 DN 160 |
3.7 kg / 8.16 lbs 6.3 kg / 13.9 lbs |
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