信頼性の高い高速保護

最新のシャットオフバルブにまず求められるのは、逆流現象が発生したときに確実かつ迅速に緊急隔離できることです。SERIES 25.7は、高感度で高速な隔離機能を提供することで、プロセスチャンバーやパイプシステムへの逆流のリスクを確実に防ぐように設計されています。

高真空クイックシャットオフバルブSERIES 25.7は、フロー制御式です。サブシステム(センサーとアクチュエータ)を一切使用しないダイレクトオペレーション設計により、複雑さと故障のリスクを抑えた高速隔離を実現。1barの差圧では最初の逆流インパルスから完全に隔離されるまで10ミリ秒未満と、SERIES 25.7はクラスをリードするバルブです。

安全ソリューションとしてのシャットオフバルブは、システムにコンダクタンスバリアを追加しないことが理想的です。フローが最適化されるように特殊に設計されたSERIES 25.7は、この点において基準を打ち立てる製品で、高コンダクタンスと高速隔離の完璧なバランスを実現しています。

フォアライン用途など、ガスの流れに副生成物が含まれるプロセスでクイックシャットオフバルブを使用する場合、汚れが蓄積することでコンダクタンスが低下し、隔離機能に悪影響を及ぼす恐れがあります。SERIES 25.7では、表面に特殊なコーティングを施すことでこれを防止。このコーティングにより、ほとんどの副生成物の蓄積を大幅に抑えることができます。またバルブ表面でのプロセスガスの凝縮を避けるために、追加の加熱オプションもお選びいただけます。

 


高真空クイックシャットオフバルブ SERIES 25.7のサイズはDN50~160mm(2"~6")からお選びいただけます。バルブ本体はステンレス製。標準フランジは、ISO-KではDN63~DN160(2½"~6")、ISO-KFではDN50(2")です。

腐食性の高いプロセスガスを使用する用途
には、FFKMシールをお選びいただけます。


高真空クイックシャットオフバルブSERIES 25.7の主な特徴

特徴:

  • フロー制御された動作
  • 圧倒的に短い反応時間
  • 最適化されたコンダクタンス
  • 副生成物による汚染を最小限に抑える特殊な表面コーティング

メリット:

  • 高い保護性能
  • 長寿命
  • 簡単な設置
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 100 (4")
ボディ素材   ステンレス鋼
標準フランジ   ISO-K
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-9 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-6 mbar ls-1
圧力範囲   真空~1.2 bar (abs)
差圧 ゲート部 ≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数   逆流現象が発生するたび、または定期的なメンテナンスサ イクルでの実施を推奨
許容温度 バルブ本体 ≤ 200 °C
加熱および冷却速度   ≤ 50 °C h-1
材料 バルブ本体 AISI 304 (1.4301)
  プレート AISI 304 (1.4301)
シール ボンネット FKM
  ゲート FKM
取り付け位置   フォアラインの取付けは垂直方向のみ
プレートをチャンバーに向ける
トリガー圧力 ゲート部 ≥ 5 mbar
閉時間 プレート移動時間 ≤ 10 ms
重量   3.7 kg / 8.16 lbs
カスタマイズ済みソリューション

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