電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
詳細情報
高い信頼性と可変性
アングルバルブの重要な性能指標は、信頼性と可変性です。26.4高真空アングルバルブシリーズは、その両方を兼ね備えています。さまざまなプロセス条件下において、何千もの過酷なアプリケーションでテストされた実績のあるSERIES 26.4は、抜群の信頼性と可変性を証明してきました。手動から圧空、電動までの作動方式、さまざまなフランジ接続、本体材質、シール材などの設計オプションにより、ほぼすべての要求事項を満たすことができます。
26.4は、ガス放出率の低さが重要となる、高真空システムのポンピングおよび排気に最適です。高い差圧にも耐え、粒子の影響を受けやすいアプリケーション向けにベローズ内蔵のフィードスルーが備わっています。また、ベローズが内蔵されていることにより、あらゆるバルブ位置で圧力ピークを防止します。
26.4高真空アングルバルブは信頼性の高い頑丈な中核構造を基礎としており、さまざまな作動方式を選択できます。手動式は、取り外し可能なハンドホイールで制御します。ハンドホイールは握りやすく正確な制御が可能で、エンドストップの位置が分かりやすく表示されているため、回し過ぎを防止できます。圧空式には、閉動作（NC）、開動作（NO）スプリングを備えた単動式、または複動式があります。
圧空式バルブを制御する電磁弁は、本体に直接搭載または必要に応じて離して搭載することが可能です。電動式は、DC24V電源を使用し、ノーマリークローズで供給されるステッピングモーターで作動します。低消費電力、高サイクルタイム、低振動、低騒音など、特定の要件を満たすよう設計されています。そのため、圧空式バルブがこれらを満たさない場合の代替品にもなります。
手動式と圧空式はDN10～DN160mm（0.4"～6.4"）、電気式はDN16～DN40mm（5/8"～1.5"）のサイズがあります。
26.4高真空アングルバルブは、アルミニウムまたはステンレス鋼を、さまざまな仕様で選択できます。標準のフランジ接続は、ISO-KFまたはISO-Kです（電動式の場合はISO-KFのみ）。選択するシーリングエラストマーに応じて、あらゆる温度状況で使用できます。これらの標準オプションに加えて、更なるカスタマイズも可能です。
26.4高真空アングルバルブシリーズには、インラインバージョンの26.5もあります。
高真空アングルバルブSERIES 26.4の主な特徴
特徴：
- 設計オプションの多さ
- 改良による電気駆動
- 高差圧に対する耐性
- 長期間メンテナンス不要
- ベローズシールを採用したフィードスルー
- カスタマイズ可能
メリット：
- 抜群の信頼性
- さまざまな要件に合わせて調整可能
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 10 (⅜")、DN 16 (⅝")、DN 25 (1")、 DN 40 (1½")、DN 50 (2")、DN 63 (2 ½")、 DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6") |
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|---|---|---|---|
| アクチュエータ |
手動式 |
取り外し可能ハンドホイール付き | |
| 圧空作動式 | 単動シリンダースプリングによる閉動作 (NC) 、単動シリンダースプリングによる開動作 (NO) 、または複動シリ ンダー | ||
| 電磁式 | 単動シリンダースプリングによる閉動作 (NC) | ||
| 電動式 | ステッピングモーター (NC) | ||
| ボディ素材 |
アルミニウムまたはステンレス鋼 |
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| フィードスルー |
ベローズ |
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| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-K、ISO-KF 40 | ||
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 圧力範囲 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ |
1 × 10-8 mbar to 5 bar (DN 10 – 50) 1 × 10-8 mbar to 4 bar (DN 63 – 80) 1 × 10-8 mbar to 2 bar (DN 100 – 160) |
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| 電磁式アクチュエータ | 1 × 10-8 mbar to 2 bar (DN 10 – 40) | ||
| アクチュエータ | 1 × 10-8 mbar to 5 bar (DN 10 – 40) | ||
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ |
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| 開方向 |
≤ 2.0 bar (DN 10 – 50) |
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| 閉方向 | ≤ 5.0 bar (DN 10 – 50) ≤4.0 bar (DN 63 – 80) ≤ 2.0 bar (DN 100 – 160) |
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| 電磁式アクチュエータ |
≤ 2.0 bar (DN 10 – 40) |
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| 電動式アクチュエータ | ≤ 2.0 bar (DN 10 – 40) | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 手動式アクチュエー | 10 000 (DN 10 – 160) | |
| 圧空作動式アクチュエータ | 300万 (NC, NO) (DN 10 – 80) 100万 (NC, 複動式) (DN 100 – 160) |
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| 電磁式アクチュエータ | 200 000 (DN 10 – 40) | ||
| 電動式アクチュエータ | 200万(DN 10 – 40) | ||
| 許容温度 | バルブ本体 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ 電磁式アクチュエータ 電動式アクチュエータ付き |
≤ 150 °C ≤ 150 °C ≤ 150 °C |
| アクチュエータ | 手動式/圧空作動式 電磁式 電動式 |
≤ 120 °C ≤ 50 °C ≤ 50 °C |
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| 電磁弁および位置インジケーター | ≤ 80 °C (DN 10 – 80) ≤ 50 °C (DN 100 – 160) |
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| 材料 | アルミニウムバルブ本体 | EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6061 (3.3211)、(DN 16 – 63) EN AW-6063 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315) EN AC-42000 (DN 80 – 160) |
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| ステンレス鋼バルブ本体 | AISI 304 (1.4301) (DN 10 – 50) AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 160) |
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プレート |
AISI 316L (1.4404, 1.4435) | ||
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ベローズ |
AISI 316L (1.4404、1.4435)、AISI 316 Ti (1.4571) | ||
| シール | ボンネット、プレート | FKM | |
| 取り付け位置 | 任意 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC, 2.5 W （その他ご要望による） (DN 10 – 80) 24 VDC, 1.0 W（その他ご要望による） (DN 100 – 160) |
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| 位置インジケーター：接触定格 | 電圧 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ 電磁式アクチュエータ |
5 – 50 VAC / DC 最大48 VAC / DC |
| 電流 | 手動式/圧空作動式アクチュエータ 電磁式アクチュエータ |
5 – 100 mA 最大500 mA |
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| 主電圧 | 電磁式アクチュエータ | 100 – 120 V / 200 – 240 V / 50 – 60 Hz | |
| 動作周波数 | 電磁式アクチュエータ | 20 °Cで最大15 min-1 | |
| バルブの位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | ||
