快速、可靠的超高真空和极高真空系统保护的标准

对快速关闭阀的主要要求是快速反应以及在空气涌入的情况下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或极高真空环境的损失(尤其是加速器或储存环等大体量的损失),可能造成严重的污染问题并且需投入精力来恢复所需真空水平。

75.0 超高真空快速关闭阀系列在压力上升时具有快速的关闭反应,可保护真空水平。该系列可在 10 毫秒内(具体取决于阀门直径)以极快的速度关闭真空线。关闭后,阀门密封 < E-9 mbarl/s。防止损坏是分秒必争的,因此,75.0 系列为系统保护设定了标准。

75.0 系列为翻板阀 (DN 63-200),采用气动驱动方式。阀体的标准烘烤温度为最高 200℃,驱动器为最高 50℃。阀盖为金属密封,闸封为氟橡胶,馈通件以焊接金属波纹管密封。

快速关闭阀由独立的控制器控制。该控制器通过定期检查系统的就绪状态、传感器及其连接来确保快速关闭。控制器采用模块化设计,可针对不同的阀门/传感器布置进行配置。快速关闭阀的状态同样通过该控制器提供,以便进行远程输出。同理,阀门也可以通过控制器的界面进行远程控制。

经证明,75.0 超高真空快速关闭阀系列可在各种工艺条件下的所有领先加速器和储存环设施中提供可靠性能,成为了超高真空和极高真空系统可靠保护的标准。


Flap valve DN 63 – 200 (关闭)

75.0 超高真空快速关闭阀系列的阀体材料为不锈钢。标准法兰连接器为 CF-F,也可选择客户指定法兰。

该系列阀体的辐射抗性为 108 Gy,闸封的辐射抗性为 105 Gy(106 Gy 可选),气动驱动器的辐射抗性为 104 Gy。

首次维护前的标准时间为 2000 次开关,这意味着该阀门系列在用于其目的时实际是免维护的。


75.0 超高真空快速关闭阀的主要特点

特点:

  • 兼容超高真空和极高真空部件
  • 快速的高真空保护关闭机制
  • 安全关闭后可以轻松恢复至准备运行状态
  • 高度可靠

优势:

  • 技术成熟
  • 实际免维护
  • 拥有成本较低
Technical data
Sizes   DN 63 (2½"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8")
Actuator Pneumatic Double acting
Body Material   Stainless Steel
Feedthrough   Bellows
Standard Flanges   CF-F
Leak Rate Valve Body < 1 × 10-10 mbar ls-1
  Valve Seat < 1 × 10-9 mbar ls-1
Pressure Range   1 × 10-10 mbar to 2 bar (abs)
Cycles until first Service   2000
Bake-Out Temperature Valve Body ≤ 200°C
  Actuator ≤ 50 °C
Radiation Restistance Valve Body
Plate Seal
Pneumatic Actuator
108 Gy
< 105 Gy (option: 106 Gy)
104 Gy
Material Valve Body AISI 316L (1.4435)
  Mechanism AISI 316L (1.4435)
  Gate / Plate Titanium
  Bellows AISI 316L (1.4404, 1.4435)
Seal Bonnet Metal
  Gate / Plate FKM (Viton®)
Mounting Position   Seat Side (marked)
in opposite direction of the air inrush

 

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 40 - 50 (11/2” - 2”) ISO-KF

DN 63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
63 / 2,5
mm / inch
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
A 45 / 1.77 61 / 2.40 16 / 0.63
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