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  • Jun 08, 2022 Product News

    Ultra Clean Vacuum – VAT perfektioniert das Partikel-Management

    Mit neuen Ansätzen im Partikel-Management setzt VAT Maßstäbe für Ultra Clean Vacuum-Anforderungen. Ziel ist eine maximale Vermeidung von unerwünschten Partikeln und Ausgasungen. (7 min. Lesezeit)

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    Apr 01, 2022 Product News

    Haftdichtungen: Ein Schlüsselelement in der Vakuumventiltechnologie von VAT

    Haftende Ventiltellerdichtungen bieten gegenüber klassischen O-Ring-Dichtungen eine Reihe von Vorteilen – neben längerer Lebensdauer vor allem verbesserte Dichtungs- und Dämpfungseigenschaften. (6 min. Lesezeit)

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    Mar 17, 2022 Product News

    Reproduzierbares Verhalten von Hochleistungs-Vakuumventilen

    Komplexere Mikroprozessorarchitekturen reduzieren den Spielraum für Schwankungen in den Produktionsprozessbedingungen. Hohe Prozessstabilität und Steuerbarbarkeit sind damit der Schlüssel zum Erfolg. (3 min. Lesezeit)

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    Feb 24, 2022 Product News

    Mehrwert durch Integration in der Halbleiterfertigung

    Halbleiterchips werden heute im Überfluss für eine zunehmende Vielfalt anspruchsvoller Anwendungen eingesetzt. VAT entwickelt sich von einem Lieferanten von Vakuumkomponenten zu einem Systemintegrator, der die Entwicklung von immer komplexeren Halbleiterproduktionslinien unterstützt. (4 min. Lesezeit)

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    Feb 03, 2022 Product News

    Vakuumventildichtungen: Jedes Detail entscheidet

    Die Entwicklung von spezifischen Dichtungstechnologien ist für VAT ein entscheidendes Merkmal seiner Wettbewerbsfähigkeit. Wo Standardlösungen ihre Grenzen erreichen können VAT Vakuumventile Anlagenbetreibern ein Mehr an Funktionssicherheit bieten. Gerade auch im Bereich klassischer Elastomerdichtungen setzt VAT hierbei Maßstäbe. (3 min. Lesezeit)

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    Jan 05, 2022 Product News

    Fixed Price Refurbishment: Optimierte Wartungs- und Servicekosten für Vakuumventile

    Das VAT "Fixed Price Refurbishment"-Programm hilft Anlagenbetreibern – speziell in der Halbleiterproduktion – Anlagenverfügbarkeit zu erhöhen und Servicekosten optimieren. (1 min. Lesezeit)

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    Dec 10, 2021 Product News

    Optimierte Version des großen Transferventils für OLED-, PVD- und Schleusen

    Mit dem neuen 06.3 Large Transfer Valve / Insert mit TWINVAT bietet VAT eine optimierte Version seiner erfolgreichen Baureihe 06.1 mit größeren Druckelementen, speziell für OLED-, PVD- und Loadlock-Anwendungen. (1 min. Lesezeit)

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    Oct 22, 2021 Product News

    Bestellung für neues 29.2 HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion von großem Display-OEM

    Führender Anlagenbauer von großen Produktionsmaschinen für TV-Displays gibt VAT den Zuschlag für die Lieferung des neuen 29. 2 HV-Eckventils mit Soft-Pump-Funktion. (1 min. Lesezeit)

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    May 03, 2021 Product News

    Mehr Leistung, mehr Prozessstabilität durch VAT Upgrades & Retrofits

    Halbleiterproduktionsanlagen müssen sich schnell amortisieren - schon der nächste Innovationszyklus erhöht den Kostendruck. Alternde Anlagen machen dies zu einer Herausforderung. VAT bietet deshalb Upgrades & Retrofits als kosteneffektive Lösung zur Optimierung bestehender Produktionsanlagen. (2 min. Lesezeit)

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    Apr 06, 2021 Product News

    Fortschrittliche Steuerbarkeit – VAT wechselt von IC1- zu IC2-Controller-Technologie

    Die bisher in VAT-Vakuumventilen verwendeten IC1-Controller nähern sich technisch dem Ende ihres Lebenszyklus. Daher werden sie durch fortschrittliche 32-Bit-IC2-Controller ersetzt. In enger Abstimmung mit Kunden gewährleistet VAT einen schnellen, reibungslosen Übergang. (2 min. Lesezeit)

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