Die Halbleiterfertigung ist ein unerbittlicher Innovationszyklus. Neue und fortschrittlichere Halbleiterprodukte treiben den Wettlauf um eine immer höhere Produktivität.

Normalerweise versuchen Halbleiterhersteller, die Produktionsmenge zu erhöhen und die Betriebskosten zu optimieren, um die Kosten pro Chip zu senken.  Allerdings erfordern alternde Produktionssysteme oft einen erhöhten Wartungsaufwand, was den gegenteiligen Effekt auslöst, nämlich die Betriebskosten zu erhöhen, anstatt sie zu senken.

Auf der Suche nach mehr Leistung

Vakuumventile sind als Transferventile oder Steuerventile ein wesentlicher Bestandteil in Halbleiterproduktionsanlagen. Deren Verfügbarkeit und Leistung sowie der Aufwand zu deren Wartung sind ein entscheidender Faktor in der Effizienz solcher Anlagen. Als weltweit führende Anbieter von Vakuumventillösungen, bietet VAT seinen Kunden auch für bestehende Anlagen ein umfassendes Optimierungsangebot aus Upgrades & Retrofits.

Erhältlich als "Plug-and-Play"-Lösungen mit allen erforderlichen Kabeln, Dichtungen und Anschlüssen, bieten VAT Upgrades & Retrofits sofort eine höhere Leistungsfähigkeit z.B. in puncto Partikelfreiheit, Taktgeschwindigkeit, Steuerbarkeit oder verlängerter Wartungsintervalle. Und alles zu niedrigeren Betriebskosten. Jede Vakuum-Ventillösung ist dabei exakt so konfiguriert, dass sie ohne Anpassungen in die bestehende Anlage integriert werden kann, ohne das Anlagendemontagen oder -umbauten notwendig sind.

"Die Nachrüstung einer Ätzanlage beispielsweise mit VAT Regelklappen der Serie 61.2 kann bei den meisten Prozessen zu einer erheblichen Durchsatzsteigerung beitragen", erklärt Daniel Feurer, Head of Product Management GSE bei VAT. "Durch die sehr feine Steuerung erlaubt das 61.2 eine sehr präzise und zuverlässige Kontrolle des Leitwerts, auch in partikelbelasteten Strömen.  
Das Ventil passt perfekt in den vorhandenen Platz und ist einfach zu installieren."

"Plug and play"-Lösungen mit Vorteilen

Weitere wichtige Vorteile sind:

  • Höhere Leistung für anspruchsvollere und schnellere Prozesse
  • Verbesserte Prozessstabilität für höhere Betriebszeiten
  • Signifikante Partikelreduzierung
  • Niedrigere Betriebskosten

"VAT Upgrades & Retrofits sind eine schnelle, einfache und kostengünstige Möglichkeit für Halbleiterhersteller, die Produktivität bestehender Anlagen zu optimieren", fasst Daniel Feurer zusammen.