Das VAT Vakuumventil-Portfolio für die Prozesssteuerung und -absperrung für die Halbleiterfertigung ist immer auf die spezielle Anforderung zugeschnitten. Je nach Anforderung und Einsatzbereich sind die Leistungsparameter der einzelnen Baureihen und eingesetzten Ventiltechnologien immer auf die jeweiligen spezifischen Kundenbedürfnisse angepasst. Wesentliche Merkmale sind dabei anpassbare Öffnungs- und Schließzyklen, stabile, adaptive Dichtung, moderne Controller-Technologie, die eine hochpräzise Regelung erlaubt, die Vermeidung von Partikelaktivierung und -freisetzung sowie eine hohe Fertigungsqualität die definierte, stabile Leistungsparameter für jedes gefertigte Ventil garantiert. 

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung Herausforderungen in der Prozesssteuerung und -absperrung lösen kann, wählen Sie aus den unten aufgeführten Baureihen aus.