Zuverlässige und präzise Steuerung für Ultrahochvakuum-Prozesse

Der 64.8 UHV-Regelschieber ist für die zuverlässige, präzise Regelung und Absperrung in Ultrahochvakuum-Prozessen konzipiert, z. B. in Anwendungen wie „Sputtern“ oder EUV in der Halbleiterproduktion. Er erfüllt die Standardanforderungen an Langlebigkeit, Modularität, Dichtheit und Wartungsfreundlichkeit mit besonderem Fokus auf hohe Verfügbarkeit und niedrige Betriebskosten.

Der Regelschieber ist mit der VATLOCK-Technologie ausgestattet, die eine zuverlässige Abdichtung ohne jegliche Reibung an der Tellerdichtung ermöglicht. Der Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Schieberöffnung. Der integrierte Druckregler errechnet die erforderliche Tellerposition, um den definierten Solldruck zu erreichen. Ein Schrittmotor führt die Bewegung aus und ein Encoder überwacht die Position des Tellers. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung. Der spezielle VATLOCK-Schließmechanismus garantiert eine dichte Absperrung in Verbindung mit einer ausfallsicheren Verriegelung. D. h. auch bei Stromausfall bleibt der Schieber hermetisch dicht geschlossen.

Die Ultra-Hochvakuumleistung wird durch eine metallische Kopfdichtung, eine balggedichtete Schiebedurchführung sowie eine vulkanisierte Tellerdichtung erreicht (O-Ring-Dichtung optional).

Der 64.8 UHV-Regelschieber wurde bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und hat dabei seine herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit seiner robusten, schmiermittelfreien Konstruktion erfüllt er alle Anforderungen an einen zuverlässigen Vakuumregelschieber.


Geschlossen
Offen

Der 64.8 UHV-Regel-Schieber ist in Größen von DN 200 – 250 mm (8" - 10") verfügbar. Der Controller kann auch separat vom Schieber montiert werden. Weitere Optionen für Dichtungsmaterial, Flanschanschlüssen, Anschlüsse für Grobevakuierung, Entlüftung oder Messgeräte sowie spezielle Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, Downstream/soft-pump) erlauben eine optimale Auslegung für unterschiedlichste Anwendungsbedingungen.


Hauptmerkmale des 64.8 UHV-Regel-Schieber

Merkmale:

  • Zuverlässige, bewährte UHV-Konstruktion
  • Schmiermittelfrei
  • VATLOCK-Technologie
  • Robustes Gehäuse aus Edelstahl

Vorteile:

  • Zuverlässige und präzise Steuerung und Absperrung
  • Verlängerter wartungsfreier Betrieb
  • Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
Grössen   DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10")
Antrieb   Integrierter Druckregler mit schrittmotorgesteuertem Regelkreis
Gehäusewerkstoff   Nichtrostender Stahl
Durchführung   Balg
Standard Flansche   ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS
Dichheit Ventilgehäuse < 5 × 10-10 mbar ls-1
  Ventilsitz < 1 × 10-9 mbar ls-1
Druckbereich DN 160– 200
DN 250
1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (abs)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)
Druckbereich am Teller DN 160– 200
DN 250
≤ 1.6 bar
≤ 1.2 bar
Druckbereich beim Öffnen   ≤ 30 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung Drosselung (offen -max. offen)
Absperrung (öffnen - schließen - öffnen)
100 000
30 000
Temperatur Ventilgehäuse ≤ 80°C
  Controller max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen)
Werkstoff Ventilgehäuse AISI 304 (1.4301)
  Mechanik AISI 316L (1.4404) (DN 160– 200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250)
  Balg AISI 316L (1.4404, 1.4435)
Dichtung Kopf Metall
  Teller FKM (Viton®)
Einbaulage   Beliebig
Ventilstellungsanzeige   Visuell (Mechanisch und am Controller)

 

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