Maximieren Sie Qualität und Produktivität mit herausragender Partikeleigenschaften

Die wichtigsten Leistungsmerkmale für Transferventile mit Kontakt zu Atmosphärendruck in Halbleiterproduktionsanlagen sind deren Partikeleigenschaften, im Sinne einer geringen Partikelaktivierung und -freisetzung sowie schnelle und zuverlässige Öffnungs- und Schließzyklen.

Der 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT kombiniert beides, außergewöhnliche gute Partikeleigenschaften mit optimierter Steuerbarkeit für variable und schnelle Zykluszeiten.


Geschlossen
Optisch geschlossen
Offen

Die Konstruktion des 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT konzentriert sich auf optimierte Partikeleigenschaften und sehr schnelle Zykluszeiten.

Das herausragend niedrige Niveau möglicher Partikelfreisetzungen des 07.0 wird durch die Optimierung verschiedener Konstruktionsmerkmale erreicht, wie z.B. durch einen Torsionsstab am Teller für eine gleichmäßige Dichtungskompression, einem vollständig gekapselten Antrieb, einer schmiermittelfreien Umgebung und einer echten L-Bewegung zur Vermeidung eines Schließstoßes.

Die außergewöhnliche echte L-Bewegung des 07.0 wird durch die spezielle LINVAT-Technologie von VAT erreicht. Anstelle von zwei separaten Antrieben für die vertikale und horizontale Bewegung verwendet LINVAT nur einen Antrieb in einer zweistufigen Bewegung. Das Ergebnis: Ein äußerst zuverlässiges Antriebskonzept mit einer schnellen, stabilen, einstellbaren und stoßfreien Bewegung. Der Vorteil: höhere Verfügbarkeit und verbesserte Steuerbarkeit.


Hauptmerkmale des 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

Merkmale:

  • Design mit verringerter Partikelaktivierung und -freisetzung
  • Fettfreie Betriebsumgebung
  • Außergewöhnliche präzise L-Bewegung
  • Gleichmäßige Dichtungskompression
  • Flexibler D-Sub- und AMP-Anschluss

Vorteile:

  • Herausragende Partikeleigenschaften
  • Hohe Verfügbarkeit
  • Zuverlässiger Betrieb
Technische Daten
Grössen   up to 50 × 420 mm (1.97" × 16.54")
Antrieb   Pneumatisch
Durchführung   Balg
Dichtheit   < 1 × 10-7 mbar ls-1
Differenzdruck am Teller in Schliessrichtung ≤ 1 bar
  in Öffnungsrichtung ≤ 0.1 bar
Differenzdruck bei Öffnung   ≤ 30 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung   ≥ 3 million
Antriebszeit Öffnen ≤ 1 s
  Schliessen ≤ 1 s
Temperatur Teller ≤ 120 °C
  Antrieb ≤ 80 °C
Werkstoff Teller Aluminium
  Balgschutz Polytetrafluorethylen 
Dichtung   Perfluorelastomer, vulkanisiert
Einbaulage   Antrieb oben oder unten
Verriegelung bei Drucklufteinbruch   Pneumatische Verriegelung
Lagemelder   Reed Swith
Gewicht   ca. 6.0 kg

 

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