Für die folgenden Vakuumventilbaureihen werden Fenster-, Blenden- oder Filterfolieneinsätze als Option angeboten:

01.0 Mini-UHV-Schieber
10.8 UHV-Schieber
15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV-Schieber
16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil

Optionen für 01.0 Mini-UHV-Schieber

Die MONOVAT-Dichtungstechnologie, die im 01.0 Mini-UHV-Schieber verwendet wird, ermöglicht den Einbau eines Fensters, einer Blende oder einer Filterfolie in den Schieber des Vakuumventils. Diese können durch einfaches Öffnen des Ventilgehäuses integriert werden, ohne dass das Ventil aus dem System entfernt werden muss. Das Fenster, die Blende, oder die Filterfolie wird zwischen dem O-Ring und einem schraubbaren Haltering eingeklemmt. Ein spezielles Montagewerkzeug, das mit jedem Ventil geliefert wird, wenn die Option bestellt wird, ermöglicht einen einfachen Austausch.


01.0 Mini-UHV-Schieber mit Fenster

Der Fenstereinsatz wird in den Schieber eingesetzt. Der Fenstereinsatz ist zwischen einem O-Ring und einem schraubbaren Haltering eingeklemmt, um ihn bei Bedarf leicht auswechseln zu können.

aSchnitt A-AfFensterglas
bSchiebergGeschraubter Haltering
cElastomerdichtung für Fenster Ø21,95 x 1,78hDicke des Schiebers 4 mm
dDurchmesser des Glases Ø24 ±0,2iDicke des Glases 1,5 ±0,1
eOptisch freier Durchmesser Ø21 ±0,2jBohrungen für Montagewerkzeug
Spezifikation des FenstersOptisch freier Durchmesser: 21,0±0,2
Äußerer Durchmesser: 24,0±0,2
Glasdicke: 1,5±0,1
Standard-Fensterglasmaterial: Borosilikat oder Saphir (andere Materialien müssen vom Kunden bereitgestellt werden)
OptionenBlindplatte im Schieber (anstelle eines Fensterglases)
2 Ventile zusammengeschweißt
3 Ventile zusammengeschweißt
ErsatzteileElastomer-Dichtung
Haltering, um das Fensterglas in Position zu halten.
Werkzeug für die Montage
Borosilikat-Fensterglas
Saphir-Fensterglas
Blindplatte
DichtheitsprüfungJedes Ventil wird mit eingebautem Fensterglas auf Dichtheit geprüft.

01.0 Mini-UHV-Schieber mit Blende

Die Blende im Schieber ermöglicht einen kontrollierten Durchfluss. Diese Option wird in der Regel nur bei zwei miteinander verschweißten Ventilen verwendet.

Standardblende im Schieber (0,05 bis 15 mm)

Die Blende ist wie ein Fensterglas zwischen einem O-Ring und einem schraubbaren Haltering eingeklemmt. Sie ermöglicht einen kontrollierten Durchfluss und wird normalerweise mit einem anderen Ventil kombiniert, um die Absperrfunktion zu gewährleisten. Beide Ventile sind in einer solchen Konfiguration miteinander verschweißt, um zusätzliche Dichtungsanforderungen zu vermeiden.

aSchnitt A-AeDurchmesser der Düse 24,0±0,2
bSchieberfDicke des Schiebers 4 mm
cElastomerdichtung für Blende Ø21,95 x 1,78gDicke der Blende
dGeschraubter Haltering Ø24 ±0,2hBohrungen für Montagewerkzeug
Spezifikation der BlendeGrößen: 0,05 bis 15 mm
Äußerer Durchmesser: 24,0±0,2
Dicke: 1,5±0,1
Standard-Werkstoff: AISI 301
OptionenÖffnung im Schieber zum Einbau einer Standardblende (Blende nicht enthalten)
Blindplatte im Schieber (anstelle einer Blende)
2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt
Zusätzliche TeileElastomer-Dichtung
Haltering für Standardblende
Montagewerkzeug
Blindplatte
Blende: 0,05 bis 15 mm
DichtheitsprüfungJedes Ventil wird mit montierter Blindplatte auf Dichtheit geprüft, um die Dichtheit am Sitz zu gewährleisten. Nach der Dichtheitsprüfung wird die Abdeckplatte entfernt und die kundenspezifische Blende eingebaut.

Kleine Blende im Anschnitt (0,01 bis 0,1 mm)

Die Blende ist zwischen einer M4-Halteschraube und dem Schieber eingeklemmt. Es gibt keine Dichtung zwischen der Blende und dem Schieber. Das bedeutet, dass das Ventil am Sitz nicht dicht ist, wenn anstelle der Blende eine Blindplatte verwendet wird. Die Blende kann mit einem Schraubendreher der Größe 3 ausgetauscht werden.

aSchnitt A-A
bSchieber
cDicke des Schiebers 4 mm
dDurchmesser der Blende 3,00/-0,05 mm
eHalteschraube M4
Spezifikation der BlendeGrößen: 0,01 bis 0,1 mm
Äußerer Durchmesser: 3,00/-0,05mm
Dicke: 0,3 mm
Standard-Werkstoff: AISI 304
OptionenÖffnung im Schieber zum Einbau einer kleinen Blende (Blende nicht enthalten)
Blindplatte im Schieber (anstelle einer Blende)
2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt
Zusätzliche TeilesElastomer-Dichtung
Haltering für kleine Blende
Halteschraube M4
Blende 0,01 bis 0,1 mm
Blindplatte
DichtheitsprüfungDie Dichtheitsprüfung ist in der Standardkonfiguration des Ventils ohne Blende oder in der Konfiguration mit zwei zusammengeschweißten Ventilen möglich, wobei eines die Absperr- und das andere die Blendenfunktion übernimmt.

01.0 Mini-UHV-Schieber mit Filterfolie

Standard-Filterfolien im Schieber

Das Ventil wird ohne Filterfolie geliefert. Diese muss separat beschafft und eingebaut werden.

aSchnitt A-AfPlatz für Folie 0,2...0,4
bVentilschiebergHaltering für Folienfilter
cElastomerdichtung für Folie Ø21,95 x 1,78hDicke des Schibers 4 mm
dDurchmesser der Folie Ø25 ±0,2iDicke der Folie 0,2 - 0,4 mm±0,1
eFreier Durchmesser Ø21 ±0,2jBohrungen für Montagewerkzeug
FolienfilterFreier Durchmesser: 21,0±0,2mm
Äußerer Durchmesser: 25,0±0,2mm
Dicke: 0,2 - 0,4 mm
OptionenÖffnung im Schieber zum Einbau eines Folienfilters (Folienfilter nicht enthalten)
2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt
ErsatzteileElastomer-Dichtung
Haltering für Folienfilter
Montagewerkzeug
DichtheitsprüfungJedes Ventil wird mit einer Blindplatte und einem Fensterhaltering auf Dichtheit geprüft. Der Haltering für den Folienfilter wird erst nach der Dichtheitsprüfung montiert.

LUXEL (VF111) Filterfolie im Schieber

Die LUXEL(VF111)-Filterfolien-Serie bietet mehrere Vorteile für Anwendungen mit weicher Röntgenstrahlung. Die Filter werden in den Schieber eingeschraubt und sind so konzipiert, dass sie sichtbares Licht zurückhalten, weiche Streustrahlung herausfiltern sowie das Röntgen-/EUV-Bandspektrum auf den gewünschten Bereich begrenzen. Das Ventil wird immer ohne den LUXEL-Filter geliefert. Das Ventil oder der Haltering muss zur Installation des Filters an die Firma LUXEL geschickt werden. Der Haltering mit dem LUXEL-Filter kann ausgetauscht werden, ohne die Kopfdichtung ersetzen zu müssen oder das Ventil aus dem System zu entfernen. Im Vergleich zur Ausführung mit Sichtfenster unterscheidet sich der Dichtungsring. Der Schieber, der O-Ring und das Montagewerkzeug unterscheiden sich nicht.

aSchnitt A-AfLUXEL-Filter
bVentilschiebergHaltering für LUXEL-Filter
cElastomerdichtung für Folie Ø21,95 x 1,78hDicke des Schiebers 4 mm
dDurchmesser der Folie Ø20,6 ±0,1 ±0,05iDicke des LUXEL-Filters 1,74 0-0,1
eFreier Durchmesser Ø15,9 ±0,2jBohrungen für Montagewerkzeug
Spezifikation des Folienfilters Detaillierte Informationen finden Sie auf der LUXEL Website
OptionenÖffnung im Schieber zum Einbau eines LUXEL-Filters (Filter nicht enthalten)
2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt
ErsatzteileElastomer-Dichtung
Haltering für LUXEL-Filter
Werkzeug für die Montage
DichtheitsprüfungJedes Ventil wird mit einer Blindplatte und einem Fensterdichtungsring auf Dichtheit geprüft. Der Haltering für den LUXEL-Filter wird erst nach der Dichtheitsprüfung eingebaut.

Option für 10.8 UHV-Schieber

10.8 UHV-Schieber mit Fenster

Der 10.8 UHV-Schieber verwendet die VATLOCK-Dichtungstechnologie. Um das Fenster in den Schieber zu integrieren, ist der Dichtungsmechanismus leicht verändert, damit die Blattfeder den optisch freien Durchgang des Fensters nicht behindert.

DN 63DN 100
Ø a70100
Ø b46±0,250±0,2
Ø c4043
Ø dM48x1,5M52x1,5
e2121
f4±0,14±0,1
g3,33,3
h99
DN 160DN 200
Ø a150200
Ø b75±0,297±0,2
Ø c6890
Ø d90113
e2126,5
f6±0,16±0,1
g3,73,7
h812
Spezifikation des FenstersDie maximale Größe des Fensters wird durch den VATLOCK-Mechanismus bestimmt. Bei den Ventilen DN 250 und DN 320 ist ein Fenster nicht möglich.

Standard-Fenstermaterial: Borosilikat oder Saphir (andere Materialien müssen vom Kunden geliefert werden)

Optisch freier Durchmesser C
Ventil DN 63: 40 mm
Ventil DN 100: 43 mm
Ventil DN 160: 68 mm
Ventil DN 200: 90 mm

Glasdicke
Ventil DN 63 – 100: 4 mm
Ventil DN 160 – 250: 6 mm

Einbaulage des Ventils: Beliebig
ErsatzteileMontagewerkzeug für Fenstertausch DN 63
Montagewerkzeug für Fenstertausch DN 100
DichtheitsprüfungJedes Ventil wird mit einer Blindplatte und einem Fensterhaltering auf Dichtheit geprüft.

Option für 15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV-Schieber

15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV-Schieber
mit Fenster, Blende oder Folienfilter im Schieber

Die UHV-Schieber der Baureihe 15 verwenden die MONOVAT Dichtungstechnologie, ähnlich wie der 01.0 Mini-UHV-Schieber. Diesbezüglich gelten die gleichen technischen Spezifikationen. Bitte beachten Sie daher den Abschnitt 01.0 Mini-UHV-Schieber. Die maximale Größe eines Fensters, einer Blende oder eines Folienfilters wird im Allgemeinen durch den Durchmesser des Schiebers bestimmt.

aMONOVAT-Schieber
bHaltering
cFenster
dO-Ring

Optionen 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil

16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil mit Fenster

Die Baureihe 16.2 verwendet eine Pendelventilkonstruktion, die den Einbau großer Fenster ermöglicht. So kann z.B. ein DN 250 Ventil ein Fenster mit einem optischen freien Durchmesser von 200 mm haben. Es ist auch möglich, mehr als ein Fenster im Schieber zu haben. Das Fenster wird durch O-Ringe abgedichtet, die auch den Glas-Metall-Kontakt während der Wärmeausdehnung verhindern.

a Schieber
bSchraube
cFlansch
dFenster
e, fDichtung
Seite des Ventilsitzes
Spezifikationen der Fenster
Ventilgröße DNMaterial des FenstersOptisch freier Durchmesser "A"1 mmDicke des Glases
mm
200Borosilicate
Saphir
130
170
6
5
250Borosilikat
Saphir
130
200
6
6
320Borosilikat
Saphir
150
250
8
6
350Borosilikat
Saphir
150
250
8
6
400Borosilikat
Saphir
150
250
8
6
500Borosilikat
Saphir
auf Anfrage
auf Anfrage

1 Die obige Spezifikation umfasst die größtmöglichen Fenster. Kleinere Fenster auf Anfrage. Aufgrund des Gewichts des Fensters ist es nicht möglich, das Ventil in jeder Position zu montieren.