Am Wissenschafts- und Wirtschaftsstandort Adlershof ist SENTECH Instruments richtig, nimmt der Berliner Ortsteil doch für sich in Anspruch, der „klügste Kiez Berlins“ zu sein. Das mittelständische Unternehmen entstand nach der Wiedervereinigung aus einer Ost-West-Partnerschaft in unmittelbarer Nachbarschaft zur ehemaligen Akademie der Wissenschaften. An den Start ging man zwar zunächst mit dem Bau von Messgeräten, doch nach und nach entwickelte sich die Plasmaprozesstechnik zum Zugpferd. Heute verfügt der Spezialmaschinenbauer über große Erfahrung mit allen Verfahren, bei denen mithilfe eines Plasmas Oberflächen bearbeitet werden.

Eine Beschichtung viel dünner als hauchdünn

Bei SENTECH arbeitet man bevorzugt mit induktiv erzeugtem Plasma. Dabei wird mittels Induktionsspule Energie auf ein Gas übertragen, das in der Folge ionisiert – die Moleküle und Atome treten dabei vom gasförmigen in einen plasmaförmigen Zustand über. Sie sind also weder flüssig noch fest und auch nicht mehr gasförmig, sondern nehmen einen sogenannten nicht-klassischen Aggregatzustand ein. Das Plasma ist ein hochreaktiver Zustand, der eine Oberfläche ätzen oder auf dieser eine Schicht abscheiden kann. Danach müssen verbrauchte Substanzen und Reaktionsprodukte – wieder unter kontrollierten Bedingungen – entfernt werden. All dies geschieht unter Vakuum.

„Im Wesentlichen werden zwei Prozesse gefahren“, erklärt Dr. Frank Schmidt von SENTECH. „Das eine ist das Auftragen und das andere das Abtragen von Schichten. Bezüglich des Auftragens gibt es noch ein spezielles Verfahren, das ALD-Verfahren. Da kontrolliert man die Prozesse sehr genau und gewährleistet, dass die Beschichtung atomlagenweise stattfindet.“ Atomlagenweise – die Bedeutung des Wortes muss man sich bewusst machen: Die Beschichtung ist so dünn, dass sie aus einer einzigen Schicht Atome besteht!

Die Prozesse benötigen dank der Anwendung von Plasma keine hohen Temperaturen, sondern können bei Raumtemperatur ablaufen. Sie ermöglichen eine Vielzahl an Produkten, ohne die unsere moderne Kultur kaum denkbar wäre. Die Spannbreite reicht von Mikrochips über Laser bis zu Sensoren für Smartphones, die beispielsweise die Lage des Geräts bestimmen. Auch unsere Zukunft gestaltet die Plasmaprozesstechnologie maßgeblich mit: „Die ganze auf Dächern sichtbare Solartechnologie – das ist ohne Dünnschichttechnologie nicht realisierbar“, erklärt der Experte von SENTECH.

Ventile spielen bei der Plasmaprozesstechnologie eine wesentliche Rolle.

Schon bei der Herstellung von Plasma, wie es für die Oberflächenbearbeitung eingesetzt wird, betritt man die Welt der Vakuumtechnik und der Ventile. Sowohl die Vakuumtechnik, bei der Gase immer wieder aus der Fertigungskammer (dem „Reaktor“) hinausbefördert werden, als auch die Dosiertechnik, bei der immer wieder Gase in den Reaktor hineingebracht werden, gilt es exakt zu steuern, beschreibt der Festkörperphysiker. Dafür braucht es Ventile, die hohen Anforderungen genügen – Drosselventile, Dosierventile, Abschaltventile, Spezialventile zur Dosierung von Mengen.

SENTECH Instruments bedient sowohl den akademischen Markt und verkauft seine Produkte zunehmend in die mittelständische Produktion für Photonik, Sensorik und Hochfrequenzbauelemente. Produkte werden übergreifend im Bereich Forschung & Entwicklung sowie Produktion eingesetzt. Das hat eine Konsequenz, die auch die Wahl der Partnerunternehmen bestimmt: Die zumeist modular aufgebauten Kleinserienanlagen müssen hohe Erwartungen hinsichtlich Flexibilität und Qualität erfüllen, da SENTECH die Technologie des Kunden oftmals erst ermöglicht.  

SENTECH

Rainer Handke, Sales Manager der VAT Deutschland GmbH, bestätigt, dass VAT die Verfügbarkeit und Flexibilität von Ventillösungen für SENTECH immer im Blick habe. Man sehe sich als Ventilpartner, der SENTECH auf dem stark wachsenden Markt der Plasmaprozesstechnologie zuverlässig unterstützt. „Und dies natürlich bei Beibehaltung sehr guter Qualität“, betont Handke.

SENTECH verwendet verschiedenste Ventile und verlässt sich dabei auf die große Produktpalette von VAT. Zum Einsatz kommen beispielsweise die Transferventile der Serie 02.1, Kontrollventile der Serie 61.3 und Eckventile der Serie 29.0. Selbst beheizbare Ventile und Tore sind erhältlich. „Wenn man VAT kauft, ist man sicher“, fasst Frank Schmidt zusammen. Mehr muss man eigentlich gar nicht sagen. Es gibt keine Probleme. Die Qualität stimmt immer und selbst bei der gegenwärtig allseits spürbaren Teileknappheit fällt VAT durch pünktliche Lieferungen positiv auf.