超高真空および極高真空システムの保護における高速かつ信頼性の高いスタンダード

緊急遮断シャッターシステムの主な要件は、空気が侵入した場合に迅速かつ確実に反応することです。空気侵入によって超高真空や極高真空の環境が失われると、特に加速器やストレージリングのような大容量の場合は、汚染の問題やコンポーネントの損傷、必要な真空レベルを回復するために労力を要するという点で大きな問題につながりかねません。

UHV緊急遮断シャッターシステムSERIES 77.1は、圧力上昇時に迅速に反応し遮断することで真空レベルを保護します。このシリーズは、10ミリ秒未満(シャッター径による)という抜群の速さで真空ラインを閉じます。シャッターが遮断することにより、空気侵入はほぼ即座にmbar l/sレベルまで減少。これにより、残留する漏れを気密シーリングするためのオールメタルバルブを作動させる時間が確保されます。損傷に至らないためにはミリ秒単位の時間が重要になるため、SERIES 77.1は保護の基準を打ち立てています。

SERIES 77.1はフラップシャッター(DN 63~160)として設計されており、圧空作動式です。標準的な耐熱温度は、バルブ本体が最大300 °C、アクチュエータは最大50 °C。ボンネットはメタルシール、フィードスルーは溶接メタルベローズでシールされています。

この緊急遮断シャッターシステムは別のコントローラで制御されます。コントローラは、システムの準備状態や、センサおよびセンサへの接続状態を定期的にチェックすることで高速な閉時間を実現しています。コントローラはモジュール式なので、様々なシャッター/センサの配置に合わせて構成できます。空気侵入が検出されると、コントローラは緊急遮断シャッターシステムに加えて、超高真空または極高真空の条件下で気密シーリングされたオールメタルバルブを作動させます。また遠隔出力できるように、緊急遮断シャッターの状態もコントローラから提供されます。逆に、コントローラのインターフェースからシャッターを遠隔操作することもできます。

UHV緊急遮断シャッターシステムSERIES 77.1の性能はすでに、主要な加速器やストレージリング施設において様々なプロセス条件で実証されており、信頼性の高い超高真空および極高真空システムの保護において標準となっています。


フラップシャッター DN 63 – 160 (閉)

UHV緊急遮断シャッターシステムSERIES 77.1の本体はステンレス鋼です。接続用フランジはCF-Fが標準ですが、お客様指定のフランジやスロット寸法にも対応可能です。

このシリーズは、バルブ本体の耐放射線性が108 Gy、圧空アクチュエータの耐放射線性が104 Gyとなっています。

標準的な第1回サービスまでの期間は、フラップシャッターで2000サイクル、スロットシャッターで5000サイクルなので、その目的において実質的にメンテナンスフリーであると言えます。UHV緊急遮断シャッターシステムSERIES 77.1は通常、オールメタルバルブと組み合わせて使用されます。


UHV緊急遮断バルブシステムSERIES 77.1の主な特徴

特徴:

  • 超高真空と極高真空に対応
  • 緊急遮断機構による高い保護効果
  • 安全閉鎖後の復旧も簡単
  • 高い信頼性

メリット:

  • 実績のある技術
  • 実質的にメンテナンスフリー
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 63 (2½")、DN 100 (4")、DN 160 (6")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   CF-F
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-10 mbar ls-1
  バルブシート < 30 mbar ls-1
圧力範囲   超高真空~1.2 bar (abs)
第1回サービスまでのサイクル数 スロットシャッター
フラップシャッター
5000
2000
焼き出し温度 バルブ本体 ≤ 300°C
  アクチュエータ ≤ 50 °C
耐放射線性 バルブ本体
圧空アクチュエータ
108 Gy
104 Gy
材料 バルブ本体 AISI 316L (1.4435、1.4404)
  機構 AISI 316L (1.4435)
  ゲート/プレート AISI 316L (1.4404)、銀メッキ(スロットシャッター)
チタン(フラップシャッター)
  ベローズ AISI 633 (AM 350) (スロットシャッター)
AISI 316L (1.4404) (フラップシャッター)
シール ボンネット 金属
取り付け位置   シート側(マーク付き)
エアラッシュ方向と逆向き
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