超高真空オールメタル可変リークバルブ SERIES 59.0は極めて少ないガスの流れ（1×10-10 mbar ls-1～500 mbar ls-1）を正確に制御できます。フルメタル設計なので、超高真空や極限超高真空のプロセスでのガス投与に最適です。
SERIES 59.0の特殊な制御機能によって、再現性のある正確なガス流量設定が保証され、プロセス制御能力が高まります。またシーリング疲労のリスクがなく、全寿命にわたって信頼性の高い、リークタイトな閉動作を実現します。
ハイグレードなSS製のバルブ本体と金メッキされたSS製のメンブレンゲートシールを採用したフルメタル設計により、SERIES 59.0は腐食性の高いガスに対しても高い耐性を備えています。
プロセス条件を問わず、すでに何百もの利用実績のあるSERIES 59.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。このバルブは、超高真空用途と極高真空用途における可変リークバルブの標準ソリューションとなっています。
超高真空オールメタル可変リークバルブSERIES 59.0にはDN 16 mm（5/8"）のアングルバージョンと管内バージョンがあり、手動アクチュエーション、またはステッピングモーターを備えた一体型または着脱可能な圧力コントローラ付きです。SERIES 59.0の耐熱温度は最大300 °Cで、ベイクアウト時の状況に応じて、ベイクアウト処理中にアクチュエータを取り外せます。標準フランジは、所定の位置に固定されたCF-Rです。
ダイヤフラムの密着シールは、バルブの全寿命である400,000回の制御サイクルと10,000回のリークタイト閉作動サイクルに耐えられるように設計されており、スペアパーツとして入手可能で、簡単に交換できますが、サービスは不要です。
| サイズ | DN 16 (⅝") | |||
|---|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 手動式 | ハンドホイール | ||
| ステッピングモーターを備えた一体型または着脱可能な圧力コントローラ | ||||
| ボディ素材 | ステンレス鋼 | |||
| 標準フランジ | CF-R | |||
| シーリング技術 | ダイヤフラム | |||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
| バルブシート | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | |||
| 圧力範囲 | 超高真空～10 bar (abs) | |||
| 差圧 | 開動作時 | ≤ 10 bar | ||
| デッドボリューム | アングルバルブ: | シート側 サイドポート |
2.7 cm3 1.1 cm3 |
|
| 管内バルブ: | シート側 サイドポート |
0.98 cm3 1.01 cm3 |
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| 第1回サービスまでのサイクル数 | 20 000 | |||
| 焼き出し温度 | バルブ本体 | ≤ 300 °C | ||
| 手動アクチュエータ | ≤ 300 °C | |||
| ステッピングモーター付きコントローラ | ≤ 50 °C | |||
| 加熱および冷却速度 | ≤ 60 °C h-1 | |||
| 材料 | バルブ本体 | AISI 660 (1.4943)、AISI 316L (1.4404) | ||
| ダイヤフラム | AISI 301 (1.4310)、金メッキ | |||
| 取り付け位置 | 自由 | |||
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | |||
| コンダクタンス (分子の流れ) |
0.05 ls-1 | |||
| 調整可能なガス流量 | 1 × 10-10 mbar ls-1～500 mbar ls-1 | |||
| 重量 | 手動アクチュエータ付 | 0.94 kg / 2.07 lbs | ||
| 制御式ステッピングモーター付 | 2.5 kg / 5.5 lbs | |||
