極めて少ないガスの流れを高精度で制御

超高真空オールメタル可変リークバルブ SERIES 59.0は極めて少ないガスの流れ(1×10-10 mbar ls-1~500 mbar ls-1)を正確に制御できます。フルメタル設計なので、超高真空や極限超高真空のプロセスでのガス投与に最適です。

SERIES 59.0の特殊な制御機能によって、再現性のある正確なガス流量設定が保証され、プロセス制御能力が高まります。またシーリング疲労のリスクがなく、全寿命にわたって信頼性の高い、リークタイトな閉動作を実現します。

ハイグレードなSS製のバルブ本体と金メッキされたSS製のメンブレンゲートシールを採用したフルメタル設計により、SERIES 59.0は腐食性の高いガスに対しても高い耐性を備えています。

プロセス条件を問わず、すでに何百もの利用実績のあるSERIES 59.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。このバルブは、超高真空用途と極高真空用途における可変リークバルブの標準ソリューションとなっています。

アングルバルブ手動アクチュエータ付
管内バルブ
手動アクチュエータ付
アングルバルブ
一体型コントローラ付
アングルバルブ
着脱可能なコントローラ付
ベイクアウト用


閉 / 開

超高真空オールメタル可変リークバルブSERIES 59.0にはDN 16 mm(5/8")のアングルバージョンと管内バージョンがあり、手動アクチュエーション、またはステッピングモーターを備えた一体型または着脱可能な圧力コントローラ付きです。SERIES 59.0の耐熱温度は最大300 °Cで、ベイクアウト時の状況に応じて、ベイクアウト処理中にアクチュエータを取り外せます。標準フランジは、所定の位置に固定されたCF-Rです。

ダイヤフラムの密着シールは、バルブの全寿命である400,000回の制御サイクルと10,000回のリークタイト閉作動サイクルに耐えられるように設計されており、スペアパーツとして入手可能で、簡単に交換できますが、サービスは不要です。


超高真空オールメタル可変リークバルブSERIES 59.0の主な特徴

特徴:

  • 極めて少ないガスの流れを高精度で制御
  • ガス流量設定を正確に再現 
  • 全寿命において信頼性の高いリークタイトなシーリング
  • 腐食性の高いガスに対する優れた耐性

メリット:

  • 極めて少ないガスの流れでも最適に圧力制御
  • プロセスの制御性が向上
  • 高い稼働率
技術データ
サイズ   DN 16 (⅝")
アクチュエータ 手動式 ハンドホイール
  ステッピングモーターを備えた一体型または着脱可能な圧力コントローラ
ボディ素材   ステンレス鋼
標準フランジ   CF-R
シーリング技術   ダイヤフラム
漏れ率 バルブ本体 < 1 × 10-10 mbar ls-1
  バルブシート < 1 × 10-10 mbar ls-1
圧力範囲   超高真空~10 bar (abs)
差圧 開動作時 ≤ 10 bar
デッドボリューム アングルバルブ: シート側
サイドポート
2.7 cm3
1.1 cm3
  管内バルブ: シート側
サイドポート
0.98 cm3
1.01 cm3
第1回サービスまでのサイクル数   20 000
焼き出し温度 バルブ本体 ≤ 300 °C
  手動アクチュエータ ≤ 300 °C 
  ステッピングモーター付きコントローラ ≤ 50 °C 
加熱および冷却速度   ≤ 60 °C h-1
材料 バルブ本体 AISI 660 (1.4943)、AISI 316L (1.4404)
  ダイヤフラム AISI 301 (1.4310)、金メッキ
取り付け位置   自由
バルブの開閉位置表示   機械的な目視位置表示付き
コンダクタンス
(分子の流れ)
  0.05 ls-1
調整可能なガス流量   1 × 10-10 mbar ls-1~500 mbar ls-1
重量 手動アクチュエータ付 0.94 kg / 2.07 lbs
  制御式ステッピングモーター付 2.5 kg / 5.5 lbs
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