98.0 メカトロニクスウェハーリフトシステム

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VATの98.0メカトロニクスウェハ―リフトシステムは、最新のアクチュエーション、制御、材料、シーリング技術を結集し、半導体製造におけるあらゆる分野のウェハ―ハンドリングシステムをよりシンプルでスマートなものにするためのソリューションです。このシステムの重要な機能は、可能な限り滑らかな動作プロファイルで、正確かつ素早いウェハー動作を提供することです。

VATの最新世代である高速メカトロニックバルブとモーションコンポーネントの技術を基に、ウェハーリフトシステムの動作プロファイルは完全にプログラム可能で、優れた制御を実現します。また大きな特徴は、開始位置と終了位置をフレキシブルに調整でき、これらがハードストップに制限されない点です。これにより、機械的な発明品がなくとも、簡単に制御を調整することができます。さらに、リフト動作の力や速度は、動作のどの段階でも制御可能で、非常に正確でスムーズ、かつ迅速なウェハ―ハンドリングが可能になります。

98.0メカトロニクスウェハ―リフトシステムは、IC2（32ビット）コントローラを使用しており、いつでも、どの動作段階のウェハ―リフトでも、すべて完全に同期させることができます。その結果、非常に高速かつ穏やかなリフト動作が可能となり、過酷で変化しやすいプロセス条件下でも高い再現性と信頼性を実現します。

98.0の設計は、統合が難しい集中アクチュエータ搭載のソリューションとは対照的に、設置面積の最小化に重点を置いています。これを実現するのが、非常にコンパクトな3つの独立した小型作動リフトです。システムの中央制御装置が、この3つのリフト間の絶対的な同期動作を保証します。また自動化された校正手順により、お客様のシステム内またはリフト交換後などの機械的公差がなくなります。

98.0メカトロニクスウェハ―リフトシステムは、メンテナンスフリー操作と高い耐久性を目指して設計されています。IC2コントローラはオンボード制御性能アナライザー(CPA)を搭載しており、任意のPCまたはPCUに接続し、リフトシステムのあらゆる性能設定をモニターおよび変更することができます。アルマイト加工されたアルミニウム製のボディとステンレス鋼ベローズピンフィードスルーシール（腐食性アプリケーション用にNi合金製もご用意）により、このリフトシステムは様々な生産環境に最適です。

98.0メカトロニック・ウェハーリフトシステムの主な特徴

特徴：

• 調整可能なマルチステップ動作プロファイル
• 自動ホーミングおよびキャリブレーション機能
• 正確に同期した軸移動により、基板のずれを低減
• 自動キャリブレーション
• ドライブユニットの完全な電気的絶縁
• CPAソフトウェア搭載の最新IC2コントローラ
• ウェハースティッキングと圧力検出（ご要望に応じて）

メリット：

• 振動と衝撃を最小限に抑えた、高速かつ高精度、安全な動作
• あらゆるリフト動作段階での完全な動作制御
• 省スペース
• 高い耐久性と信頼性