98.0 メカトロニクスウェハーリフトシステム

当社の最新世代である高速メカトロニックバルブとモーションコンポーネントの技術を基に、ウェハーリフトシステムの動作プロファイルは完全にプログラム可能で、油圧や空圧アクチュエータを使用した代替ソリューションと比較して優れた制御を実現します。98.0は、EC2（32ビット）コントローラーを使用しており、調整可能なモーションプロファイルにより、すべての速度レベルのウェーハリフトを完全に同期させることができます。自動キャリブレーション手順により、高精度位置が保証されます。コントローラーに内蔵された自己診断ソフトウェアにより、システムのメンテナンスが必要な場合は、早期警告が表示されます。これにより、事前に計画を立て、予期せぬ性能低下を回避することができます。

このコントローラーは、さまざまなインターフェースコネクタを使用して、あらゆるプロセス制御ユニットに簡単に組み込むことができます。

カスタムメイドで、半導体製造プロセスや研究用途に最適化され、お客様の最も厳しい要求にも応えることができます。98.0メカトロニック・ウェハーリフトシステムは、バルブ、ベローズ、コントローラー、アドバンストモジュールを含むVAT社の真空ソリューションに付加価値を高めます。 また、98.0メカトロニック・ウェハーリフトシステムは、3台のウェハーリフト、EC2コントローラーユニット、リフトとコントローラ間の接続ケーブルハーネスで構成されています。リフターは、15 mm、30 mm、60 mmストロークの3種類が利用可能で、アクチュエータには、ブレーキとエンコーダーが内蔵されたBLDCモーターを使用しています。ピンフィードスルーはベローズ密封されています。ウェハーと圧力の検出には、ソフトウェアのアドオンが可能です。