高パーティクルパフォーマンスで品質と生産性を最大化

半導体製造装置の大気仕切ドアでは、パーティクルの発生や放出が少ないというパーティクルパフォーマンスに加えて、高速で信頼性の高い開閉サイクルが重要なパフォーマンス指標となります。

LINVATを採用した新しい高真空仕切ドア/インサートSERIES07.0は、調整可能な高速サイクルタイムにより優れたパーティクルパフォーマンスと最適化された制御性の両方を兼ね備えます。


見た目上、閉じた状態

LINVATテクノロジーを採用した高真空仕切ドア/インサートSERIES 07.0は、パーティクルパフォ ーマンスと高速サイクルタイムを最適化することに重点を置いて設計されています。

均一なシール性能のためのプレート上のトーションバーや完全にカプセル化されたアクチュエータ、無潤滑環境、閉まる際の衝撃を避けるために速度プロファイルを調整できるリアルLモーションなど、様々な設計上の特徴を最適化することで、卓越したレベルのパーティクルパフォーマンスを実現しています。

VATの特殊な LINVATテクノロジーによりSERIES 07.0の速度調整可能な卓越したリアルLモーションを実現した。 LINVATでは、Lモーションの水平垂直の動きを二つの独立したアクチュエータで行うのではなく、一つのアクチュエータによる二段階の動きでその動きを達成します。その結果、高速で安定した、調整可能で衝撃のない動きを実現する、信頼性の高いアクチュエータコンセプトが生まれました。メリット:稼働率と制御性の向上。


LINVAT搬送用高真空ドア/インサートSERIES 07.0の主な特徴

特徴:

  • パーティクルパフォーマンスを高める設計
  • グリース不要の動作環境
  • 抜群の精度を誇るLモーション
  • 均一なシール圧縮
  • D-subとAMPのどちらでも接続可能

メリット:

  • 卓越したパーティクルパフォーマンス
  • 高い稼働率
  • 信頼性の高いオペレーション
技術データ
サイズ   最大50 × 420 mm (1.97" × 16.54")
アクチュエータ   圧空作動式
フィードスルー   ベローズ
漏れ率   < 1 × 10-7 mbar ls-1
ゲートにかけ得る許容最大差圧 閉方向 ≤ 1 bar
  開方向 ≤ 0.1 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧   ≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数   ≥ 300万
作動時間 開動作 ≤ 1 s
  閉動作 ≤ 1 s
許容温度 ゲート部 ≤ 120 °C
  アクチュエータ部 ≤ 80 °C
材料 ゲート アルミニウム
  ベローズ保護 ポリテトラフルオロエチレン
シール   パーフロロエラストマー、焼付処理
取り付け位置   アクチュエータ上向または下向
圧空消失の異常時にロック   空気圧ロック
位置インジケーター   リードスイッチ
重量   約6.0 kg
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