電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
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信頼性の高い粗大および微小ガス投与用
最新式ガスドージングバルブの重要なパフォーマンス指標は、制御性、およびフロー設定を確実かつ正確に再現する能力です。21.1 ガス投与バルブシリーは、どちらも提供します。
2バージョン利用可能 - 粗大ガス投与用 (DN10 mm、½インチ)、微小ガス投与用(DN16mm、⅝インチ) - SERIES 21.1では、個別の閉および投与針較正機能により、定義されたフロー設定を失うことなく閉めることができます。
投与針較正ハンドホイールを使用して、針位置とフロー設定を要件設定に合わせて微細に調整可能です。この設定は、開閉機構が投与機構を独立して作動させるため、バルブの開閉中、維持されます。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.1は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
ガスドージングバルブ SERIES 21.1は、手動ハンドホイール アクチュエーションによる粗大ガス投与用(DN10 mm、½インチ) バージョンと、微小ガス投与用 (DN16 mm、⅝インチ) バージョンがあります。粗大ガス投与バルブ体はアルミニウム、微小ガス投与バルブ体はステンレス鋼です。どちらにもISO-KFフランジがあります。微小ガス投与バルブでは、真空側フィルタの追加が可能です。
ガスドージングバルブSERIES 21.1の主な特徴
特徴：
- 幅広いフロー制御範囲
- 統合シャットオフバルブ
- フロー設定を失うことなく閉じることが可能
メリット：
- 優れた信頼性および寿命
- 抜群の制御性
- 低コスト
技術データ
| 粗大ガス投与バルブ | 微小ガス投与バルブ | ||
|---|---|---|---|
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | 1× 10-8 mbar ls-1 | 1× 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | 1 × 10-7 mbar～4 bar (abs) | 1 × 10-7 mbar～2.5 bar (abs) | |
| ガスの流れ、制御可能 |
40 mbar l/sz～1700 mbar l/s |
5 × 10-6 mbar l/s～1000 mbar l/s | |
| デッドボリューム | - | 0.032 cm3 | |
| 許容温度 | ベイクアウト ≤ 100 °C | 操作 ≤ 80 °C ベイクアウト ≤ 100 °C |
|
| 材料 | バルブ本体 | EN AW-6082 T6 | AISI 304 (1.4301) |
| アクチュエータ | プラスチック (POM) | プラスチック (POM) | |
| 投与スリーブ | - | フッ素重合体 | |
| シール | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) | |
| 取り付け位置 | 自由 | 自由 | |
| 重量 | 0.2 kg/0.44 lbs | 0.4 kg/0.88 lbs |
