信頼性の高い粗大および微小ガス投与用

最新式ガスドージングバルブの重要なパフォーマンス指標は、制御性、およびフロー設定を確実かつ正確に再現する能力です。21.1 ガス投与バルブシリーは、どちらも提供します。

2バージョン利用可能 - 粗大ガス投与用 (DN10 mm、½インチ)、微小ガス投与用(DN16mm、⅝インチ) - SERIES 21.1では、個別の閉および投与針較正機能により、定義されたフロー設定を失うことなく閉めることができます。
投与針較正ハンドホイールを使用して、針位置とフロー設定を要件設定に合わせて微細に調整可能です。この設定は、開閉機構が投与機構を独立して作動させるため、バルブの開閉中、維持されます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.1は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。


微小投与

ガスドージングバルブ SERIES 21.1は、手動ハンドホイール アクチュエーションによる粗大ガス投与用(DN10 mm、½インチ) バージョンと、微小ガス投与用 (DN16 mm、⅝インチ) バージョンがあります。粗大ガス投与バルブ体はアルミニウム、微小ガス投与バルブ体はステンレス鋼です。どちらにもISO-KFフランジがあります。微小ガス投与バルブでは、真空側フィルタの追加が可能です。


ガスドージングバルブSERIES 21.1の主な特徴

特徴:

  • 幅広いフロー制御範囲
  • 統合シャットオフバルブ
  • フロー設定を失うことなく閉じることが可能

メリット:

  • 優れた信頼性および寿命
  • 抜群の制御性
  • 低コスト

技術データ
    粗大ガス投与バルブ 微小ガス投与バルブ
漏れ率 バルブ本体、バルブシート 1× 10-8 mbar ls-1 1× 10-9 mbar ls-1
圧力範囲   1 × 10-7 mbar~4 bar (abs) 1 × 10-7 mbar~2.5 bar (abs)
ガスの流れ、制御可能  

40 mbar l/sz~1700 mbar l/s

5 × 10-6 mbar l/s~1000 mbar l/s
デッドボリューム   - 0.032 cm3
許容温度   ベイクアウト ≤ 100 °C 操作 ≤ 80 °C
ベイクアウト ≤ 100 °C
材料 バルブ本体 EN AW-6082 T6 AISI 304 (1.4301)
  アクチュエータ プラスチック (POM) プラスチック (POM)
  投与スリーブ - フッ素重合体
シール   FKM (Viton®) FKM (Viton®)
取り付け位置   自由 自由
重量   0.2 kg/0.44 lbs 0.4 kg/0.88 lbs

 

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