1 × 10^-8 mbar～2 bar (abs)

62.7 ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

製品の指定

極めて大きな圧力範囲で再現可能な精度

最新の自動ガスドージングバルブに求められるのは、制御性の高さだけではなく、事前に定義した流量設定に確実かつ正確に従う能力です。ガスドージングバルブSERIES 62.7は、どちらも提供します。

SERIES 62.7には電磁作動式のDN 5 mm（3/16”）と、ステッピングモーター作動式のDN 16 mm（5/8”）の2種類のデザインバージョンがあります。どちらのバージョンも1 · 10^-8 mbar ls^-1未満から2 bar（DN 5の場合）および2.5 bar（DN 16の場合）までの範囲で、あらゆるレベルの圧力を非常に細かく制御できます。これにより、初期開口部からフルコンダクタンスまでの流量特性をあらゆる圧力レベルで完全に制御できます。それだけでなく、SERIES 62.7は動作範囲も広く、通常は数種類のバルブが必要なところを1つのバルブで解決できるという優れた特性を持っています。また、これまでにない制御性を実現しています。SERIES 62.7の特殊な封止・コントロールシステムは、
DN 16の場合はニードル＆プレート機構、DN 5の場合はアパーチャ＆プレート機構の組み合わせにより、非常に低いコンダクタンスでも圧力変化のピークがない、とてもスムーズな開動作特性を実現しています。

選択された流量特性は、固定の設定で定義することもできるほか、SERIES 62.7をコントローラ経由でプロセス内の圧力センサに接続することで、動的な設定で動作させることもできます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 62.7は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の性能を証明してきました。

DN 5

DN 16

ガスドージングバルブSERIES 62.7はステンレス鋼製で、DN 5ではお客様ご指定のフランジを、DN 16ではISO-KFをご用意しております。ガスの流量特性は、PCに接続して外部のバルブ圧力コントローラに直接定義することも、生産プロセスコントロールユニット（PCU）に統合することもできます。

ガスドージングバルブSERIES 62.7の主な特徴

特徴：

抜群に幅広いフロー制御範囲
非常に小さなコンダクタンスでの抜群の制御性
停電時のシャットダウン機能を内蔵

メリット：

抜群のプロセス制御性
1つのバルブで異なる圧力領域に対応
優れた信頼性と寿命
低コスト

技術データ

		DN 5 mm (3/16")	DN 16 mm (⅝")
アクチュエータ		電磁式	ステッピングモーター
ボディ素材		ステンレス鋼	ステンレス鋼
フィードスルー		シャフトフィードスルー	シャフトフィードスルー
標準フランジ		お客様指定	ISO-KF
漏れ率	バルブ本体、バルブシート	< 1 × 10^-9 mbar ls^-1	< 1 × 10^-9 mbar ls^-1
圧力範囲		< 1 × 10^-8 mbar to 2 bar (abs)	< 1 × 10^-8 mbar to 2.5 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧		≤ 1.0 bar	≤ 1.1 bar
許容温度	バルブ本体、プレート周囲温度	– 5 °C～50 °C	≤ 150°C 5 °C–40°C
材料	バルブ本体プレート	AISI 316L (1.4404または1.4435) AISI 430IL (1.4105IL)	AISI 316L (1.4404または1.4435) AISI 316L (1.4404または1.4435)
シール	プレート投与スリーブ	FPM –	FPM フッ素重合体
取り付け位置		自由	自由
制御可能コンダクタンス	最小/最大	1.69 / 84.44 mbar ls^-1	5 × 10^-6 /1250 mbar ls^-1
動作時間	閉動作/開動作	< 30 ms / < 30 ms	3 s / 4 s
電源		24 VDC / 12 VA	24 VDC / 12 VA
制御		コントローラによるデジタル制御アナログ0...10VDC (最大 100 mA)	コントローラによるデジタル制御アナログ0...10VDC (最大 100 mA)
重量		0.096 kg / 0.2 lbs	0.8 kg / 1.8 lbs