窓、オリフィス、フィルターフォイルオプション

01.0ミニUHVゲートバルブ用オプション

ミニUHVゲートバルブ01.0に採用されているMONOVATシール技術により、この真空バルブゲートには窓、オリフィス、フィルターフォイルを取り付けることができます。いずれも、バルブをシステムから取り外さずに、バルブハウジングを開くだけで簡単に取り付けられます。窓、オリフィス、フィルターフォイルは、Oリングとねじ込み式のリテーナリングの間に挟みます。オプション注文時に各バルブに付属する特別な取り付け工具を使用すれば、簡単に交換可能です。

01.0窓付きミニUHVゲートバルブ

バルブゲートに窓インサートが取り付けられています。窓ガラスはOリングとねじ込み式リテーナリングで挟まれており、必要に応じて簡単に交換できます。

01.0 オリフィス付きミニUHVゲートバルブ

ゲートにオリフィスを設けることにより、流れを制御できます。このオプションは通常、2つのバルブを溶接して使用します。

標準オリフィス（0.05～15mm）

オリフィスは、窓ガラスと同様、 O リングとねじ込み式リテーナリングで挟まれています。これは流れの制御を可能にするもので、通常は隔離機能を実現するため、別のバルブと組み合わせて使用されます。両方のバルブを溶接した構成を採用することで、追加のシール要件を回避できます。

小オリフィス（0.01～0.1mm）

オリフィスはM4の押さえネジとゲートの間に挟まれています。オリフィスとゲートの間にシールはありません。このため、オリフィスの代わりにブランキングプレートを使用した場合、シートでのバルブの気密性は低くなります。オリフィスは3番のドライバーで交換可能です。

01.0 フィルタ―フォイル付きミニUHVゲートバルブ

標準フィルターフォイル

バルブにはフィルターフォイルは付属しません。こちらを別途購入して取り付ける必要があります。

LUXEL（VF111) フィルターフォイル

LUXEL（VF111)フィルターフォイルシリーズは、軟X線アプリケーションに複数の利点をもたらします。このフィルターはゲートにねじ込まれており、可視光を退け、軟X線散乱線を除去し、X線/EUVバンドパスを目的の領域に制限するように設計されています。バルブは必ず、LUXELフィルターなしの状態でお届けします。フィルターの取り付けには、バルブまたはリテーナリングをルクセ ル社に送付いただく必要があります。LUXELフィルター付きのリテーナリングは、ボンネットシールの取り換えや、バルブの取り外しをせずに交換可能です。窓付きの設計オプションと比較すると、違いはリテーナリングのみです。ゲート、O リング、組立工具に違いはありません。

10.8 UHVゲートバルブオプション

10.8 窓付きUHVゲートバルブ

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ用オプション

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ（窓、オリフィスまたはフォイルフィルター付き）

16.2 HV振子式遮断バルブのオプション

16.2 HV 窓付き振子式遮断バルブ

16.2 シリーズは、大きな窓の取り付けが可能な振り子バルブ設計を採用しています。例えば、DN250 のバルブには 200 mm の窓を付けることができます。また、ゲートに複数の窓を設けることも可能です。窓は、熱膨張時のガラスと金属の接触も防いでくれるO リングで密閉されます。

1 上記の仕様には、可能な限り大きなサイズの窓が記載されています。ご要望があれば、より小さな窓にも対応いたします。窓の重量により、バルブを任意の位置に取り付けることはできません。