用蚀刻工艺批量制造多层叠片需要最佳的密封技术(具有自清洁功能)和整体坚固的工具设计,以实现高正常运行时间。VAT真空阀解决方案提供了创新的功能,以确保提高工艺安全和加强工具的正常运行时间。

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