VAT真空阀的设计适用于所有真空度,直至高真空、超高真空和极端超高真空条件。

VAT真空阀是在洁净室条件下生产的,并为其各自的应用量身定做。除了高纯度外,VAT真空阀由于其高度精确的功能和耐用性,即使在极端的运行条件下也表现佳。

通过全面的真空隔离阀和控制阀、气体定量阀、传输阀和排气阀、淹没阀以及快速关闭阀的产品组合,VAT为所有应用领域提供了最佳的解决方案。

技术是关键

为了永久地保证最佳的真空隔离或控制功能,VAT真空阀采用了VAT开发的不同的真空阀技术。这些专利技术除了确保防止颗粒物的功能外,还确保在大量的关闭和控制周期内精确运行。  

VAT真空闸阀、应用广泛的真空角阀以及蝶式真空阀、摆式真空阀或全金属真空阀因此为所有领域的真空阀解决方案设定了标准。

挑战我们,我们也期待着为您提供一个最佳的解决方案。

除了网站上介绍的标准解决方案外,我们也很乐意为您的真空系统量身定制解决方案,请联系我们。

什么是真空阀?

真空阀是一个安装在真空系统的供气或排气管道中的装置。它通常用于隔离真空区域,如工艺室,或控制进入和排出的气体量。真空阀可以手动、气动、电子气动、电动或电磁方式操作。真空阀是任何真空系统的一个组成部分,真空系统被广泛用于各种工业生产应用中。

什么是高性能真空阀?

某些真空工艺对工艺环境的纯度以及化学和物理稳定性有特别高的要求。例如,这适用于几乎所有的半导体生产领域,以及许多使用真空系统的研究设施。在基础研究领域,处理极端条件的能力,如非常高或低的温度、强辐射和压力高达10-15mbar的极高真空(XHV)--目前技术上可行和可测量的极限--常常被添加到这些要求中。

这些应用中的真空阀在以下方面与标准真空阀不同:

  1. 最小化的颗粒排放
    高性能真空阀经过优化,不会通过其外壳、机械装置或密封件的材料放出颗粒,也不会通过其开闭或控制运动的摩擦放出颗粒。这是通过对所用材料的特殊选择和处理,以及通过某些设计细节来实现的,这些细节可以最大限度地减少或在某些情况下完全消除粒子的释放。

     
  2. 最小化的运动脉冲
    每一个阀门通过其开启和关闭运动产生运动脉冲。在自动驱动阀门的情况下,这些脉冲的范围可以从轻微的振动到可以听到和感知的硬冲击。这些运动脉冲可能会对敏感的制造工艺产生负面影响,例如,通过额外的颗粒释放。除了设计特点外,高性能真空阀主要通过控制所谓的运动曲线来减少这些脉冲。与乘客电梯的运行方式类似,在到达关闭点前不久,关闭速度会减慢,以防止 "撞击"。这些运动曲线通常可以被修改,例如,在关闭时间和关闭频率方面,它们可以适应所需条件。

  3. 中性化学和物理行为
    真空阀总是改变真空工艺室的均匀性,无论其形式如何。这种情况的发生,部分是由于其几何形状的结果。流动路径的变窄或变宽可以改变流动阻力和流动速度,或者死角,如阀板的移动空间,可以促进沉积过程。这也是通过开启和关闭运动发生的,它改变了流动行为以及工艺气体的浓度、分布、混合和温度。高性能真空阀经过优化,尽可能地补偿这种影响,或使其可控。为此,在设计中加入了各种额外的技术,这些技术远远超出了阀门的基本功能,如开启和关闭或控制。

  4. 精确的可重复的行为
    高性能真空阀与标准溶液的区别主要在于其高度可重复的行为。这意味着,虽然标准解决方案在每个单独的打开和关闭运动中表现出波动,并在使用期间显示出对其定义的性能值的偏差,但高性能真空阀经过优化,在长时间的使用中始终表现出相同的行为,定义在非常窄的范围内。这意味着它们能够稳定真空过程,并将过程控制的复杂性降到最低。

真空阀的类型有哪些?

真空阀和其他阀门一样,使用一些基本的力学原理,如闸阀、挡板盘或旋转盘来分离或隔离真空区域并控制体积流量。然而,使用这些力学原理的基本条件是完全不同的。例如,高自由度的颗粒、精确控制非常小的体积流动、密封、最小的振动和冲击是至关重要的特性。因此,这些基本的机械装置通常为真空阀设计得不同。例如,关闭机构通常被设计为无摩擦地关闭,并引起最小的振动和冲击,如果有的话。此外,控制运动可以是极其精细的剂量,密封被优化,以便在理想情况下不释放任何颗粒,其静态或动态特性在长期使用中保持稳定。

使用的真空阀有以下基本类型:

  1. 真空闸阀 – 通常是隔离或较简单的控制应用的理想选择。安装深度很窄,传导性最大(流阻最小),但闸门的行程空间需要。这些也可以采取真空狭缝阀、真空传输阀或真空门的形式,产品通过这些阀门被引入真空工艺室。
  2. 真空角阀 – 通用的一般用途真空阀。尺寸非常紧凑,通常在密封、执行器和传感器方面非常模块化。平均电导率,非常容易维护。非常好,如果需要的话,有非常精确的可控性。
  3. 真空蝶阀 – 主要用于控制应用。非常窄的安装深度,良好的传导性,快速和精确的可控性。
  4. 真空摆阀 – 非常窄的安装深度和紧凑的尺寸,结合非常精确的控制行为,非常好的绝缘能力和非常高的传导性。
  5. 对称流真空调节阀 – 特殊类型,优化了从第一个开口到整个阀门开口的非常均匀的流动行为。
  6. 气体计量阀或漏气阀 – 特别是对于非常精细的计量,例如,低流量的工艺气体的计量。
  7. 泄压阀或排气阀 – 安全阀允许真空系统有控制地,通常是完全通风,并防止超过规定的压力条件。
  8. 真空止回阀 –被动式,体积流量和压差操作的阀门。通常用于保护真空系统免受倒流污染。例如,用于真空回流泵和真空系统之间。
  9. 快速闭合阀 – 主动式保护阀,通常保护较大的真空体积或真空室不因泄漏而造成真空损失。主要特点:对检测到的压力下降有非常快的关闭反应。在UHV和XHV应用中,通常由扇形真空阀(通常是真空闸阀)支持,以确保即使在非常高的压差下也能实现密封隔离。
  10. 真空全金属阀 – 专为极端压力、温度和辐射条件设计的一组真空阀。主要特点:硬对硬(金属对金属)的密封,而不是弹性密封,因为弹性密封无法承受服务条件。
  11. 真空多阀装置 – 特殊类型的真空阀,将几种真空阀的功能结合在一个单元中。主要特点:减少部件数量,装配速度快。通常是根据客户要求定制。
  12. 3位真空阀 – 真空隔离阀的特殊形式,其中除了关闭和打开的位置外,还可以定义第三个阀位。例如,一种应用是为了避免在高压差时由于阀门打开过快而产生的压力脉冲。 在第三个位置,密封圈上的接触压力在短时间内略微降低,而阀门却没有明显的打开,从而使压力变化更加平稳。

除了这些基本类型,还有大量的混合变体,其中一些结合了不同的阀门技术或为某些特殊要求提供解决方案。

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