既可以作为控制阀,也可以作为隔离阀,还可以结合这两种功能使用。特点是。在大电导率范围内精确控制。
在产生污染的腐蚀性真空工艺中提供可靠的隔离
在紧凑的设计中提供可靠的真空隔离
快速且精准的下游压力控制
快速且精准的下游压力控制和隔离
卓越的可控性低电导
体积小巧,性能出众