在所有条件下均能实现出色的压力控制

61.3 高真空蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速且精准的作用动作控制器(0.1 秒),61.3 蝶形控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件,改变阀门开度的流导特性。61.3 蝶形控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置,以尽快实现设定压力。

该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑,61.3 蝶形控制阀仍能够保持完全正常运行。

61.3 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项,以及简单且轻松的维护,61.3 系列在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自适应、固定 PI 下游/软抽)方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。


61.3 高真空蝶形控制阀采用铝或不锈钢制成,标准法兰连接器为 ISO-KF 和 ISO-F,可以集成客户指定法兰和特殊功能,如集成式绝缘加热器。可根据要求提供各种全氟橡胶/氟橡胶弹性体(氟橡胶为标准选项)。


61.3 高真空蝶形控制阀的主要特点

特点:

  • 卓越的压力控制
  • 运行非常快
  • 板载软件,用于本地运行
  • 恶劣工艺条件下可实现可靠运行

优势:

  • 工艺可控性更好
  • 正常运行时间长/性能不受限
  • 运行成本低
  • 技术数据
  • 下载文件
尺寸     DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 50 (2’’),
DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"),
DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
DN 320 (12")
驱动器     带步进电机的集成控制器,面向现场的控制 (foc)
阀体材料     铝或不锈钢
标准法兰     ISO-KF, ISO-F
泄漏率   < 1 × 10-9 mbar ls-1
  不锈钢   < 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围     1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar
首次维护前开关次数1) 压力控制   两百万
温度 阀体
控制器
  ≤ 150 °C
最大 50℃(建议 ≤35℃)
材材 阀体、阀板
不锈钢
EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404 或1.4435)
    AISI 316L (1.4404 或 1.4435)
密封 馈通件   FKM (其他按要求)
馈通件     旋转轴,直接驱动
安装位置     任何(建议安装在真空泵的一侧)
       
      DN 25 ...                 DN 320
最大压差 在阀板上   1000 mbar ...                 75 mbar
流导 分子流   22 ls-1 ...                 27000 ls-1
最小可控流导 分子流   0.15 ls-1 ...                 6 ls-1
典型关闭或打开时间
“仅位置”版本
铝、不锈钢   0.09 s ...                 0.29 s
重量 铝阀门
不锈钢阀门
  2.0 kg (4.40 lbs)
2.5 kg (5.5 lbs)
...                 10.4 kg (23 lbs)
12.3 (27.1 lbs)

 

1) 最大值取决于操作条件和密封材料

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