02.4

大型传输阀与MONOVAT

为最新第 6 代显示器和光伏生产系统带来出色性能

02.7

卷轴式传输阀与MONOVAT

为网/膜生产系统带来高性能

04.2 1 × 10-9 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空传输阀与L-VAT

适用于装载锁和工艺室隔离

04.3 1 × 10-6 mbar 至 1.1 bar (abs)

高真空传输阀与L-MOTION

快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺

05.2 1 × 10-9 mbar 至 1.2 bar (abs)

高真空传输插件与L-VAT

适用于装载锁和工艺室隔离

05.3 1 × 10-9 mbar 至 1.1 bar (abs)

高真空传输阀插件与L-MOTION

快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺

06.1

大型传输阀/插件与TWINVAT

为显示器生产系统带来高性能

06.3

大型传输阀/插件与TWINVAT

为显示器生产系统（大气压型）带来高性能

06.6

大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT

适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

06.8

大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT

适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能