任何条件下都值得信赖

06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT 旨在满足显示器生产系统的特殊要求。06.1 系列专为高循环生产系统设计,实现了大型传输阀在较快操作速度(150 mm 开口高度下 ≤ 2 秒)下的几乎无粒子运行。06.1 系列旨在实现较长的正常运行时间和可靠运行,使用寿命超过 100 万次。

06.1 系列所使用的 TWINVAT 技术基于模块化平台概念,针对显示器关键应用经过完全优化:

  • PECVD/蚀刻:对于这些应用,06.1 系列提供一个特殊服务功能,支持在传送室于真空下保持生产模式的同时对工艺室阀板进行维护。此功能十分重要,因为在 PECVD 和蚀刻工艺中,需要定期清洁和更换闸封。移动轻柔、双作用的 TWINVAT 机构可沿着完整的密封表面提供一致的密封压力,减少所需的密封载荷并最大程度地减轻密封磨损。这样可以降低全氟橡胶密封在阀门使用寿命内的成本。
  • OLED/PVD 与装载锁:在 06.1 的修改版本(06.3 版本)中,通过使用更大的紧压部件,可应用全压差。此版本适用于 OLED 的“超洁净”配置,提供适用于 PVD 和装载锁应用的高速选项。

06.1 系列可作为具有外壳的标准传输阀使用,也可作为嵌入型阀门直接安装至工艺室内。

06.1 系列已在全球各种工艺条件下的数百个显示器生产系统中安装,从各个方面证明了其卓越的性能。

06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT

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06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT - 光学关闭
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06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT - 服务位置 3
服务位置 3

与所有 VAT 传输阀解决方案一样,06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT 专为特定客户规格定制。这些定制可包括额外过程控制单元、特殊表面处理(如硬质阳极氧化铝或镀镍铝)、其他密封材料、真空计(用于检测阀体内的压力)、波纹管保护的轴馈通件、阀门或阀板的射频和 DC 接地选项、驱动器的横向安装位置等。


06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT 的主要特点

特点:

  • 阀板运动冲击减轻
  • 适用于闸封更换的特殊阀门服务功能
  • 闸封上的压力一致

优势:

  • 粒子少
  • 维护停机时间短
  • 循环周期短
  • 正常运行时间长
技术数据
尺寸   100 x 1000 mm 至 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60")
驱动器 气动 双作用,带位置指示器
阀体材料  
馈通件   轴馈通件
泄漏率 阀体 < 1 × 10-7 mbar ls-1
  阀座 < 1 × 10-7 mbar ls-1
压差 阀板上 阀门型:仅关闭方向 ≤ 1 bar
    嵌入型:开启方向 ≤ 30 mbar
  打开时 ≤ 5 mbar
首次维护前开关次数   100万次
关闭或打开时间   < 2.5 秒(开口高度为 150 mm 时)
温度 阀体、阀板 ≤ 120 °C
  驱动器 ≤ 60 °C
  电磁阀 ≤ 50 °C
材料 阀体、阀板 EN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547)
  驱动器轴 AISI 316 (1.4401)
  紧压部件上的波纹管 AISI 633 (AM 350)
密封 紧压部件上的波纹管 氟橡胶
泵/通气孔   ISO-KF 40
安装位置   驱动器可向上或向下安装
位置指示器 电压 24 VDC PNP(可选 NPN)

 

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