可靠性和效率

用于真空炉的VAT组合提供排气阀、泵隔离和控制阀，以及用于某些自动化在线过程的传输阀解决方案。所有的阀门解决方案通常都是根据各自的客户系统和工艺流程而定制的。在各种基本技术的基础上，在每个案例中都会开发出最佳的解决方案。

要了解更多关于VAT真空阀解决方案如何解决真空炉的真空控制难题，请从下面列出的产品中选择，或直接联系我们。

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小型闸阀

01.2

1 × 10-7 mbar 至 1 bar (abs)

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大型传输阀/插件/闸门型与SOLVAT

06.6

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适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

大型传输阀/插件/闸门型与FLAPVAT

06.8

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适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能

大型真空传输门插件与L-VAT

07.7

大型真空传输门插件与L-VAT

为显示器和光伏生产系统带来卓越性能

采用楔形设计的高真空闸阀

09.1

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

采用楔形设计的高真空闸阀

用于高副作用产品气流隔离的灵活解决方案

HV 楔形设计的高真空插板阀

09.2

1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

HV 楔形设计的高真空插板阀

用于高副作用产品气流隔离的标准

全真空闸阀

12.1

1 × 10-7 mbar 至 1.6 bar (abs)

全真空闸阀

真空隔离标准

高真空闸阀

14.0

高真空闸阀

适用于标准高循环真空隔离

带保护圈的高真空闸阀

17.2

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

带保护圈的高真空闸阀

在各种恶劣条件下均可靠

全真空大型闸阀

19.0

1 × 10-7 mbar 至 1 bar (abs)

全真空大型闸阀

需要大直径时的标准

全真空角阀

24.4

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

全真空角阀

在大流量下提供出色可靠性

全真空内联阀

24.5

1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

全真空内联阀

在大流量下提供出色可靠性

气体计量阀

62.7

1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

气体计量阀

可高效控制真空室的气流

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