溅射
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在所有条件下均可靠
07.7 大型真空传输门插件与L-VAT为真空闸门设定了新标准。该闸 门旨在优化性能的三个关键方面：(1) 粒子排放保护，(2) 快速且可调节的循环周期以及 (3) 正常运行时间长，维 护工作快速且轻松。
在要求苛刻的应用中和不断变化的工艺条件下，凸显出卓 越的性能特性。
粒子排放保护
07.7 传输门插件的设计专注于出色的粒子性能。该闸门在打开 和关闭时完全执行 L 型运动。阀门中每个有粒子释放风险的部分均经过单独封装。比如，两侧的门导板采用聚四氟乙烯波 纹管封装，压梁的紧压部件采用焊接金属波纹管封装，电缆 托架采用符合 IPA 洁净室 1 级规范的聚四氟乙烯罩封装。
短暂且可调节的循环周期
即使打开和关闭的周期很短，也能让阀门平滑地关闭，这是 07.7 传输门的重要特征。气动驱动器的阻尼机构可 调整，以匹配不同的周速。这意味着 07.7 传输门能在关闭期间最大限度地减少冲击，降低生成粒子的风险。此 外，侧导板可确保闸门平滑地运动，以将振动幅度降至最 低。磁性位置指示器 (MPI) 用于指示闸门位置，以准确显 示垂直位置和水平位置。07.7 传输门具有高性能大气 闸门所需的一切特性。
正常运行时间长，维护量少，可轻松维护
维护停机时间不仅令人烦恼，还会增加本可 避免的成本，并且降低产量。07.7 传输门通过减少维护停机的时长和频率，最大限度地 增加正常运行时间。简化的阀板更换流程和 可轻松触及的紧压部件，仅这两项设计特征 便可大幅减少维护工作。
此外，可根据工艺要求调节密封压力，比如在 使用其他密封材料时进行调节。此外，集成垫 片可防止阀板密封件超压，减少 O 型圈磨损 并通过延长免维护周期提高可用性。
07.7 大型真空传输门插件与L-VAT 的主要特点
特点:
- 所有可能排放粒子的部件均已封装
- 完全执行 L 型运动 – 平滑且振动最少
- 垂直和水平位置的磁性位置指示器
优势:
- 出色的粒子排放保护性能
- 短暂且可调节的循环周期
- 正常运行时间长，维护量少，可轻松维护
技术数据
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尺寸
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客户指定
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驱动器
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气动 |
双作用
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馈通件
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轴馈通件
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泄漏率
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氟橡胶闸封
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< 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
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阀板可承受压差
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关闭方向
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≤ 1 bar | |
| 开启方向 | ≤ 5 mbar | ||
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打开时可承受压差
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≤ 5 mbar | ||
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首次维护前开关次数
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100 万次（在未加热且清洁的条件下）
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温度
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阀板处
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≤ 60 °C | |
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气动驱动器
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≤ 80 °C | ||
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电磁阀
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≤ 50 °C | ||
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打开/关闭时间（标准版本）
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开启高度≤ 250 mm | < 3 s / < 3 s | |
| 开启高度 > 250 mm | 视尺寸而定 | ||
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材料
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铝阀板
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EN AW-5083 | |
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硬质阳极氧化铝（可选）
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EN AW-5083 | ||
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不锈钢阀板（可选）
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AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404) | ||
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侧导板（轴）
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100 Cr6 (1.3505)、硬镀铬型
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密封
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阀板
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氟橡胶
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驱动器、压板
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丁腈橡胶和氟橡胶
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安装位置
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驱动器朝下（可选：向上/侧向）
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电磁阀
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五/三向、静态信号
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位置指示器：触点额定值（PNP 类型）
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电压
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10 – 30 VDC | |
| 电流 | ≤ 200 mA | ||
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响应时间
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≤ 0.1 毫秒 | ||
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安全等级
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IP 67 | ||
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阀门位置指示
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视觉（机械）
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