在所有条件下均可靠

07.7 大型真空传输门插件与L-VAT为真空闸门设定了新标准。该闸 门旨在优化性能的三个关键方面:(1) 粒子排放保护,(2) 快速且可调节的循环周期以及 (3) 正常运行时间长,维 护工作快速且轻松。

在要求苛刻的应用中和不断变化的工艺条件下,凸显出卓 越的性能特性。

粒子排放保护

07.7 传输门插件的设计专注于出色的粒子性能。该闸门在打开 和关闭时完全执行 L 型运动。阀门中每个有粒子释放风险的部分均经过单独封装。比如,两侧的门导板采用聚四氟乙烯波 纹管封装,压梁的紧压部件采用焊接金属波纹管封装,电缆 托架采用符合 IPA 洁净室 1 级规范的聚四氟乙烯罩封装。

短暂且可调节的循环周期

即使打开和关闭的周期很短,也能让阀门平滑地关闭,这是 07.7 传输门的重要特征。气动驱动器的阻尼机构可 调整,以匹配不同的周速。这意味着 07.7 传输门能在关闭期间最大限度地减少冲击,降低生成粒子的风险。此 外,侧导板可确保闸门平滑地运动,以将振动幅度降至最 低。磁性位置指示器 (MPI) 用于指示闸门位置,以准确显 示垂直位置和水平位置。07.7 传输门具有高性能大气 闸门所需的一切特性。

07.7 大型真空传输门插件与L-VAT

07.7 大型真空传输门插件与L-VAT - 关闭
关闭
07.7 大型真空传输门插件与L-VAT - 光学关闭
光学关闭
07.7 大型真空传输门插件与L-VAT - 打开
打开

正常运行时间长,维护量少,可轻松维护

维护停机时间不仅令人烦恼,还会增加本可 避免的成本,并且降低产量。07.7 传输门通过减少维护停机的时长和频率,最大限度地 增加正常运行时间。简化的阀板更换流程和 可轻松触及的紧压部件,仅这两项设计特征 便可大幅减少维护工作。

此外,可根据工艺要求调节密封压力,比如在 使用其他密封材料时进行调节。此外,集成垫 片可防止阀板密封件超压,减少 O 型圈磨损 并通过延长免维护周期提高可用性。


07.7 大型真空传输门插件与L-VAT 的主要特点

特点:

  • 所有可能排放粒子的部件均已封装
  • 完全执行 L 型运动 – 平滑且振动最少
  • 垂直和水平位置的磁性位置指示器

优势:

  • 出色的粒子排放保护性能
  • 短暂且可调节的循环周期
  • 正常运行时间长,维护量少,可轻松维护
技术数据
尺寸
 
客户指定
驱动器
气动
双作用
馈通件
 
轴馈通件
泄漏率
氟橡胶闸封
< 1 × 10-7 mbar ls-1
阀板可承受压差
关闭方向
≤ 1 bar
  开启方向 ≤ 5 mbar
打开时可承受压差
  ≤ 5 mbar
首次维护前开关次数
 
100 万次(在未加热且清洁的条件下)
温度
阀板处
≤ 60 °C
 
气动驱动器
≤ 80 °C
 
电磁阀
≤ 50 °C
打开/关闭时间(标准版本)
开启高度≤ 250 mm < 3 s / < 3 s
  开启高度 > 250 mm 视尺寸而定
材料
铝阀板
EN AW-5083
 
硬质阳极氧化铝(可选)
EN AW-5083
 
不锈钢阀板(可选)
AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404)
 
侧导板(轴)
100 Cr6 (1.3505)、硬镀铬型
密封
阀板
氟橡胶
 
驱动器、压板
丁腈橡胶和氟橡胶
安装位置
 
驱动器朝下(可选:向上/侧向)
电磁阀
 
五/三向、静态信号
位置指示器:触点额定值(PNP 类型)
电压
10 – 30 VDC
  电流 ≤ 200 mA
 
响应时间
≤ 0.1 毫秒
 
安全等级
IP 67
阀门位置指示
 
视觉(机械)
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