半导体无尘系统
半导体无尘工艺可能具有挑战性：腐蚀性、研磨性和有毒气体和/或气流中的冷凝水和高水平的副作用都会严重影响真空阀的功能和可靠性。真空阀的主要功能包括防止回...
阅读更多
为了方便操作，只需一个摆动机构
气流中高比例的副产品会导致阀门的故障，以及由于沉积物的形成而导致计划外的维护工作。09.2 楔形设计的HV插板阀可以防止这种情况。由于其特殊的楔形设计具有自清洁功能，即使阀座上有大量沉积物，它也能可靠地关闭和打开。由于阀板的楔形设计，可能的沉积物被推离阀座或阀板的密封圈，以始终保证可靠的密封。
09.2 HV插板阀采用楔形设计，是一种具有专利锁定技术的易于关闭和保持的手动阀门。
只需一个动作，就能快速关闭阀门，这就是单摆杆机构。它保证了气流的可靠隔离，因为它将阀板锁定在关闭位置，并且在高达1巴的压差下也能完全正常运行。
09系列楔形设计的插板阀已被安装在各种工艺条件下的数千种苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。特别是在半导体应用中，它已经成为真空泵隔离的标准解决方案。
09.2 可提供铝制的ISO-F法兰盘连接，尺寸为DN 100 和DN 160。 09.2 有一个可观察的位置指示器。密封材料为氟橡胶。09.2 可以安装一个可选的加热套，允许在更高的温度下运行。09.2 阀体的最高工作温度为150 °C。
阀板和阀座的楔形设计创造了自清洁机制，通过保持O型圈的完全密封功能避免了任何泄漏的风险。
09.2楔形设计的高真空插板阀的主要特点
特点:
- 楔形设计带来的自清洁功能
- 在压差高达1巴的情况下可以打开阀门
- 单摆式关闭机构
优势:
- 卓越的可靠性
- 易于操作和锁定
- 运行成本低
技术数据
| 尺寸 | DN 100 (4“), DN 160 (6“) | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 手动 | ||
| 机体材料 | 铝 | ||
| 馈通件 | 轴的馈通件 | ||
| 标准法兰 | ISO-F | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) | ||
| 阀板上的压力差 | ≤ 1.2 bar | ||
| 运行时可承受压差 | 在打开的方向 | ≤ 1 bar | |
| 在关闭的方向 | ≤ 30 mbar | ||
| 电导率（分子流） | 1700 ls-1 | ||
| 循环直到第一次维修 | 500 (不加热和清洁条件下) | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
| 驱动器 | ≤ 100 °C | ||
| 加热和冷却率 | 50 °C h-1 | ||
| 材料 | 阀体 | EN AW-6061 T651 | |
| 闸门 | AISI 304 (1.4301, 1.4308) | ||
| 驱动器 | AISI 304 (1.4301) | ||
| 密封 | 阀盖，闸门 | FKM | |
| 安装位置 | 水平 | ||
| 重量 | 7.5 kg / 16.5 lbs, 15.5 kg / 34.5 lbs | ||
