半导体无尘系统
半导体无尘工艺可能具有挑战性：腐蚀性、研磨性和有毒气体和/或气流中的冷凝水和高水平的副作用都会严重影响真空阀的功能和可靠性。真空阀的主要功能包括防止回...
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适用于富有挑战性的次晶圆厂工艺
如果气流中副产品的比例很高，形成的沉积物可能会导致阀门故障以及计划外的维护工作。09.1 带保护圈的高真空闸阀可避免这一问题。得益于其具有自清洁功能的特殊楔形设计以及保护圈，即便阀座上有大量沉积物，该高真空闸阀依然可以平稳地打开和关闭。由于阀板的楔形设计，沉积物会被专门推离阀座或闸封，以始终保证可靠的密封性。此外，保护圈通过在阀门打开位置完全覆盖外壳，防止在板中积聚任何沉积物。09.1 高真空闸阀在压差高达 1 bar 的情况下可以完全正常运转。
09.1 带保护圈的高真空闸阀已经安装在各种工艺条件下的严苛应用中，证明了其在次晶圆厂应用领域的卓越可靠性。它可以轻易集成到任何应用中。
09.1带保护圈的高真空闸阀为气动类型。控制阀的标准电压为 24 VDC。标准密封材料为氟橡胶，但可根据要求使用其他材料。此外，还可以集成软抽功能，并为测量仪器等增加额外的接入点。
09.1带保护圈的高真空闸阀主要特点
特点:
- 由于楔形设计，此高真空闸阀具有自清洁功能
- 保护圈可防止积聚沉积物
- 阀门可在压差高达 1 bar 时开启
优势:
- 在极恶劣条件下拥有出色的可靠性
- 维护周期延长
- 低运行成本
技术数据
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尺寸
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DN 100mm (4")
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驱动器
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气动 | 双作用 | |
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阀体材料
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不锈钢
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馈通件
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波纹管
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标准法兰
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ISO-F | ||
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泄漏率
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阀体
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< 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
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压力范围
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1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强) | ||
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阀板可承受压差
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≤ 1.2 bar | ||
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打开时可承受压差
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≤ 1 bar | ||
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首次维护前开关次数
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1000 次 | ||
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温度
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阀体
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≤ 150 °C | |
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驱动器
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≤ 100 °C | ||
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电磁阀
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≤ 50 °C | ||
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位置指示器
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≤ 70 °C | ||
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材料
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阀体、阀板
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AISI 304 (1.4301) | |
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波纹管 |
AISI 633 (AM350) | ||
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密封
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阀盖、阀板
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氟橡胶（含氟弹性体）
可选：FFKM
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安装位置
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任何位置
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电磁阀
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24 VDC，1 W
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位置指示器：触点额定值
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电压
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24 VAC/DC | |
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电流
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≤0.5 A | ||
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功率
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最大为 10 W
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| 重量 | 20 kg / 44.1 lbs | ||
