适用于富有挑战性的次晶圆厂工艺

如果气流中副产品的比例很高,形成的沉积物可能会导致阀门故障以及计划外的维护工作。09.1 带保护圈的高真空闸阀可避免这一问题。得益于其具有自清洁功能的特殊楔形设计以及保护圈,即便阀座上有大量沉积物,该高真空闸阀依然可以平稳地打开和关闭。由于阀板的楔形设计,沉积物会被专门推离阀座或闸封,以始终保证可靠的密封性。此外,保护圈通过在阀门打开位置完全覆盖外壳,防止在板中积聚任何沉积物。09.1 高真空闸阀在压差高达 1 bar 的情况下可以完全正常运转。

09.1 带保护圈的高真空闸阀已经安装在各种工艺条件下的严苛应用中,证明了其在次晶圆厂应用领域的卓越可靠性。它可以轻易集成到任何应用中。

09.1 带保护圈的高真空闸阀

09.1 带保护圈的高真空闸阀 - 关闭
关闭
09.1 带保护圈的高真空闸阀 - 打开
打开

09.1带保护圈的高真空闸阀为气动类型。控制阀的标准电压为 24 VDC。标准密封材料为氟橡胶,但可根据要求使用其他材料。此外,还可以集成软抽功能,并为测量仪器等增加额外的接入点。


09.1带保护圈的高真空闸阀主要特点

特点:

  • 由于楔形设计,此高真空闸阀具有自清洁功能
  • 保护圈可防止积聚沉积物
  • 阀门可在压差高达 1 bar 时开启

优势:

  • 在极恶劣条件下拥有出色的可靠性
  • 维护周期延长
  • 低运行成本

技术数据
尺寸
 
DN 100mm (4")
驱动器
气动 双作用
阀体材料
 
不锈钢
馈通件
 
波纹管
标准法兰
  ISO-F
泄漏率
阀体
< 1 × 10-9 mbar ls-1
  阀座 < 1 × 10-7 mbar ls-1
压力范围
  1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强)
阀板可承受压差
  ≤ 1.2 bar
打开时可承受压差
  ≤ 1 bar
首次维护前开关次数
  1000 次
温度 
阀体
≤ 150 °C
 
驱动器
≤ 100 °C
 
电磁阀
≤ 50 °C
 
位置指示器
≤ 70 °C
材料
阀体、阀板
AISI 304 (1.4301)
 

 波纹管

AISI 633 (AM350)
密封
阀盖、阀板
氟橡胶(含氟弹性体)
可选:FFKM
安装位置
 
任何位置
电磁阀
 
24 VDC,1 W
位置指示器:触点额定值
电压
24 VAC/DC
 
电流
≤0.5 A
 
功率
最大为 10 W
重量   20 kg / 44.1 lbs
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