为受污染的真空过程提供可高的隔离

带保护圈的 17.2 高真空闸阀旨在在气流中副产物比例较高的真空过程中提供可靠的隔离。为了防止阀体内部以及机械装置上产生沉积物,闸阀配有一个保护圈,当闸阀处于“打开”位置时,该保护圈会滑动到位。这会增加阀门的耐用性和使用寿命,即使在恶劣条件下也是如此。

17.2 高真空闸阀采用 VATLOCK 技术,该技术旨在提供可靠的密封,同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。由于关闭端位置处的机械锁定,VATLOCK 机构还可以防止阀门故障。

17.2 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。其已成为 DN 63 - 320 mm (2.5”- 12”) 尺寸的污染过程中真空隔离的标准。凭借坚固、无润滑剂的设计,其满足了可靠高真空闸阀的所有要求。

17.2 高真空闸阀具有各种驱动和法兰连接设计选项,因此其可以轻易集成到任何真空系统中。有多种特殊选项可供选择,例如粗抽、排气或计量表用端口以及替代密封件材质,以确保最适合于不同的应用。另一个优点是,可以在各种位置指定执行器的安装位置,以便以最佳方式安装在有限的安装空间内。

VAT 17.2 带保护圈的高真空闸阀

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带保护圈的 17.2 高真空闸阀既可提供带手轮或操纵杆的手动型,也有带电磁阀的气动双作用型,作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电压为 24 VDC,但可根据要求提供其他电压。

法兰连接器的标准选项为 ISO-F、CF-F、ASA- LP 和 JIS。可集成客户指定法兰,有无水冷 皆可。


17.2带保护圈的高真空闸阀主要特点

特点:

  • 用于污染过程的保护圈
  • 具有自动防故障功能的 VATLOCK 技术
  • 不含润滑剂
  • 坚固的不锈钢阀体
  • 轻松维护

优势:

  • 在各种污染条件下均具有可靠的性能
  • 使用寿命长
  • 免维修周期延长
  • 购置成本低
技术数据
尺寸
  DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8")
驱动器
气动
双作用
 
手动
带手轮或操纵杆
阀体材料
 
不锈钢
进给机构
 
带有中间层泵口的旋转进给机构
标准法兰
  ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS
泄漏率
阀体
< 1 × 10-9 mbar ls-1
 
阀座
< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围
  1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
压差
阀板
≤ 2 bar
 
打开时
≤ 30 mbar
首次维护前开关次数
  10万次
温度
阀体
≤ 150 °C
 
气动驱动器
≤ 50 °C
 
手动驱动器
≤ 80 °C
 
电磁阀
≤ 50 °C
 
位置指示器
≤ 80 °C
加热和冷却速率
  ≤ 50 °C h-1
材料
阀体、法兰机构(主要部件)
AISI 304 (1.4301)
  机构 AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301)
AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034)
密封
阀帽、阀板
氟橡胶 (Viton®)
安装位置
 
任何位置
电磁阀
 
24 VDC,2.5 W(可根据要求提供其他值)
位置指示器:触点额定值
电压
≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
 
电流
≤ 5 A ≤ 3 A
阀门位置指示
 
视觉(机械)
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