1 × 10^-9 mbar 至 1.1 bar (abs)

05.3 高真空传输阀插件与L-MOTION

快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺

指定产品

可靠的隔离，实现均匀的阀板压缩

采用 L-MOTION 技术的 05.3 传输阀插件特别适合腐蚀性工艺，例如蚀刻或 CVD。L-MOTION 技术通过单轴气动驱动器实现阀板的 L-MOTION。在这种 L-MOTION 中，阀板在不接触阀体的情况下垂直移动到关闭位置，在最后的运动中被水平推到阀座上，同时，密封件在完全相同的压力下接触阀座。这不仅避免了任何摩擦的发生和潜在粒子的生成，还最大限度地减少了密封件磨损。

为进一步减少粒子的生成和产生，阀板配备了硫化密封件。尽管标准 O 型密封圈可作为一种选择，但这是一种比标准 O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解决方案。轴馈通件由高度耐用的金属焊接波纹管密封。

为确保整个阀板长边上各部位的密封水平相同，阀板配有一根专用压杆。压杆确保密封压力均匀分布在阀板的每个区域。

断电时，05.3 传输插件可以气动锁定在关闭位置。

05.3 高真空传输阀插件与L-MOTION 设计用于延长免维护运行（在首次维护前开关次数 ≤ 3 百万）。

05.3 系列已经安装在数百个各种半导体生产流程的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。05.3 系列具有坚固的设计，减少了维护量，使维护更方便，在各个方面都令人信服。

05.3插件型

05.3 传输阀插件与L-MOTION 始终根据客户规格要求量身定制。然而，有四种基本的预定义设计：两种具有不同的后侧开口且带有阀盖法兰的阀门类型和两种带有内腔或外腔阀座的嵌入型阀门类型。

阀体材料选择有硬质阳极氧化铝或镀镍铝以及不锈钢。阀板和阀盖密封件采用氟橡胶或全氟橡胶，也可根据要求使用其他密封材料。

05.3 高真空传输阀插件与L-MOTION的传输阀嵌入型的主要特点

特点：

可在腐蚀性工艺条件下实现可靠运行
采用避免粒子生成和产生的 L-MOTION 技术
压杆可以使闸板压力均匀分布
波纹管密封的轴馈通件
免维护周期延长
平滑且低冲击的运动

优势：

正常运行时间长/性能不受限
运行快速
运行成本低

技术数据

开口尺寸		50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" 至 3.15" x 19.69")
驱动器	气动	双作用，带位置指示器
阀体材料		铝或硬质阳极氧化铝
馈通件		波纹管
密封技术		L 型运动（见术语表）
阀体和阀座的泄漏率 mbar ls^-1	密封面	封条
		FKM 阀体	阀座	FFKM (FKM Zalak 5100) 阀体	阀座
	铝金属 (铣削/球形抛光）	< 1 × 10^-9	< 1 × 10^-9	< 1 × 10^-8	< 1 × 10^-7
	硬质阳极氧化铝	< 1 × 10^-5	< 1 × 10^-4	< 1 × 10^-5	< 1 × 10^-4
	镀镍铝	< 1 × 10^-9	< 1 × 10^-9	< 1 × 10^-8	< 1 × 10^-7
压力范围	铝或镀镍铝	1 × 10^-9 mbar to 1.1 bar (绝对压强)
	硬质阳极氧化铝	1 × 10^-6 mbar to 1.1 bar (绝对压强)
阀板可承受压差		1.1 bar
打开时可承受压差		≤ 30 mbar
首次维护前开关次数		≥ 300 万（最大 DN 50 × 336 mm） ≥ 200 万（DN 80 × 500 mm）
温度	阀体、阀板	≤ 120 °C
	驱动器	≤ 80 °C
加热和冷却速率		≤ 40 °C h^-1
材料	阀体、阀板、检修盖	EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315)
	波纹管端件	AISI 316L (1.4435，1.4404)
	波纹管	AISI 633 (AM 350)
密封	阀板、检修盖	氟橡胶
安装位置		驱动器可向上或向下安装
脉冲电磁阀		24 VDC, 2.5 W (可根据要求提供其他值）
位置指示器：触点额定值	电压	≤ 50 V AC/DC
	电流	≤ 0.1 A，> 5 mA
	连接	9 针 D 形超小型连接器
压缩空气连接		快速连接器外径为 6 mm