在所有条件下都有出色的压力控制和隔离作用

61.6 HV控制蝶阀提供出色的压力控制和隔离性能。凭借其快速而精确的动作控制器(0.45秒),它是CVD工艺中精细控制和隔离的完美解决方案。蝶板作为一个节流元件,改变了阀口的传导性。61.6的集成压力控制器计算出所需的板块位置,以尽可能快地达到设定的压力。

61.6系列的隔离功能是专门为避免蝶阀特有的较高的密封磨损而设计的。通过它的中心外板轴以及阀体和密封座的特殊几何形状,密封摩擦降到最低,密封性能得到提高。

61.6系列已经安装在数以千计的各种工艺条件下的苛刻应用中,已经证明了其出色的可靠性。61.6系列具有坚固的设计和直接安装选项,以及减少和方便的维护,在所有方面都表现优异。

本体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法(自适应、固定PI下流/软泵)方面的各种设计选项简化了61.6系列与各种真空应用的整合。


控制
隔离

61.6 HV控制蝶阀有硬质阳极氧化铝或不锈钢材质,并配有ISO-KF和ISO-F标准法兰接头。可以集成客户定制的法兰,以及特殊功能,如集成加热器与绝缘。可根据要求提供FFKM/FKM弹性体(FKM为标准)。


61.6高压蝶形控制和隔离阀的主要特点

特点:

  • 卓越的压力控制和隔离
  • 运行非常快
  • 板载软件,用于本地运行
  • 恶劣工艺条件下可实现可靠运行

优势:

  • 工艺可控性更好
  • 正常运行时间长/性能不受限
  • 运行成本低

  • 技术数据
  • 下载文件
尺寸   DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("),
DN 80 (3"), DN 100 (4")
驱动器   带有步进电机的集成控制器, 面向现场的控制(foc)
阀体材料   硬质阳极氧化铝或不锈钢
标准法兰   ISO-KF, ISO-F
泄漏率:阀体 硬质阳极氧化铝
不锈钢
< 1 × 10-5 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
泄漏率:阀座 硬质阳极氧化铝
不锈钢
< 1 × 10-4 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围 硬质阳极氧化铝
不锈钢
< 1 × 10-6 mbar 至 1.2 bar (abs)
< 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)
首次维护前开关次数1) 压力控制
隔离
200 万次
25 万次 (DN 40-50)
10 万次 (DN 63-100)
温度 阀体
控制器
≤ 120 °C
最大 50℃(建议 ≤35℃)
材料 铝阀体/阀板
不锈钢阀体/轴
EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404 或 1.4435)
密封 阀板
馈通件
氟橡胶
氟橡胶
馈通件   旋转馈通件
安装位置   阀座侧朝向舱室

 

1) 最大值取决于操作条件和密封材料

 

Scroll to:
Scroll to:
指定标准产品

在要求中写明产品详细信息,以便获取报价或下载特定 CAD 数据。

定制化解决方案

指定您的定制化解决方案。

如果您已准备好规格数据,请上传并提交给我们。我们很乐意向您发送报价。