以高循环生产的质量著称，06.1系列的双闸门设计（TWINVAT）现在已经扩展到新的06.3系列。06.3系列优化了负载锁和传输室之间的传输阀要求，以及所有的工艺应用，不需要经常维护闸门。为此，06.3配备了较大的压力元件，可以承受闸门在开启方向上的全部压差。因此，它特别适用于OLED、PVD和负载锁的应用。
06.3系列基于与06.1系列相同的概念，具有快速的运动周期和出色的颗粒预防功能。除了这些熟悉的性能特点外，06.3系列现在还有 "超洁净 "配置，以及用于PVD和气锁应用的特殊高速版本。与06.1系列一样，06.3系列可提供外壳或插入式版本，可直接安装在试验室中。
每个06.3换向阀都可以通过许多设计选项来满足具体要求。例如，包括带有ETHERCAT接口的控制单元，特殊的表面处理，如硬阳极氧化或镀镍铝，其他密封材料，检测阀壳内压力的真空计，波纹管保护的轴通，阀门和闸门的射频和直流接地选项，执行器的横向安装位置，等等。