电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定...
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精准地手动/自动排气，具有故障保护功能
对现代排气阀的主要要求是可靠、精准且快速作用的排气机制。一定程度的模块化可实现能够应对不同工艺的配置，并且安装条件也非常重要。
21.3 排气阀旨在满足真空系统的几乎所有排气要求。该系列阀门专为可靠、较长的免维护运行设计，支持手动驱动和自动驱动。
电磁驱动的自动版本因其特殊设计而格外突出。该系列阀门无需任何馈通件，采用全闭合式运行，并将作用器作为关闭装置，因此运行速度非常快，不需要满足带轴馈通件的普通阀门的维护要求。同时还消除了泄漏风险。
自动版本还提供故障保护机制，在断电时及时作出反应。该机制可在故障保护关闭或开启配置（NC 或 NO 版本）中使用，以满足工艺和安装要求。
手动
电磁式：
单作用，带闭合弹簧 (NC)
电磁式：
单作用，带开启弹簧 (NO)
21.3 系列的运行压力范围为 1 x 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) 之间，气流为 50 升/14 秒（手动版）、100 升/30 秒（NC 版）和 50 升/270 秒（NO 版）。
21.3 已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的可靠性。
21.3 排气阀的主要特点
特点：
- 快速作用
- 打开或关闭位置的电源故障保护
优势：
- 免维护运行时间延长
- 模块化设计
- 拥有成本较低
技术数据
| 手动 | 电磁 带闭合弹簧 (NC |
电磁 带开启弹簧 (NO) |
||
|---|---|---|---|---|
| 尺寸 | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | |
| 驱动器 | 手动 | 电磁 带闭合弹簧 (NC) |
电磁 带开启弹簧 (NO) |
|
| 阀体材料 | 铝和不锈钢 | 铝 | 铝 | |
| 标准法兰 | ISO-KF | ISO-KF | ISO-KF | |
| 泄漏率 | 阀体、阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 |
| 压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 1 bar（绝对压强） | 1 × 10-8 mbar to 1 bar（绝对压强） | 1 × 10-8 mbar to 10 bar （绝对压强） | |
| 阀板 可承受压差 |
关闭方向 开启方向 |
– – |
10 mbar 1 mbar |
– – |
| 打开时 可承受压差 |
关闭方向 开启方向 |
– – |
2 mbar 1 mbar |
– – |
| 首次维护前开关次数 | – | 150 万次 | 300万次 | |
| 温度 | 铝阀体 不锈钢阀体 |
0– 80 °C 0– 120 °C |
5 –40 °C – |
5 – 50 °C – |
| 材料 | 铝阀体 | EN AW-6023 (3.0306) | EN AW-6082 (3.2315) | EN AW-6026 |
| 不锈钢阀体 | AISI 303 (1.4305) | – | – | |
| 阀板：铝阀门 不锈钢阀门 |
EN AW-6023 (3.0306) AISI 304 (1.4301) |
– | – | |
| 密封 | 氟橡胶 | 氟橡胶 | 氟橡胶 | |
| 馈通件 | 无 | 无 | 无 | |
| 安装位置 | 任何位置 | 任何位置 | 任何位置 | |
| 电源 | – | 200– 240 VAC, 50/60 Hz 100– 115 VAC, 50/60 Hz 24 VAC, 50/60 Hz 24 VDC |
200– 240 VAC, 50/60 Hz 100– 115 VAC, 50/60 Hz 24 VDC |
|
| 排气时间 | 14 秒内 50 升 | 30 秒内 100 升 | 270 秒内 50 升 | |
| 重量 | 铝阀门 不锈钢阀门 |
0.1 kg/0.22 lbs 0.15 kg/0.33 lbs |
0.46 kg/1.01 lbs – |
0.1 kg/0.22 lbs – |
