电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定...
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在所有条件下均能可靠隔离
15.2 超高真空隔离闸阀系列旨在用于需要低颗粒产生量和低冲击敏感性的应用。这些阀门可用于各种压力水平（最高为超高真空 < 10-10 mbar）下的真空隔离。
该系列的所有阀门均采用 MONOVAT 技术。该技术能提供可靠的闸门密封，同时不会产生任何摩擦，并且还会产生降低颗粒的风险。MONOVAT 技术的关键特点之一是经硫化处理的闸封。这是一种高度可靠且更持久的密封解决方案。另一个优势是其在低颗粒产生量和释气性方面的优异性能。
此外，MONOVAT 技术的特殊软关闭机制（不含任何润滑剂）可最大限度地减少对安装阀门的系 统的机械冲击影响。在传统的阀门解决方案中，快速移动的阀板接触阀体会引起机械冲击。15.2 超高真空隔离闸阀系列已安装在数千个要求苛刻的应用中，证明了其在各种工艺条件下的卓越的可靠性。
坚固的分体式设计减少了工作量并简化了维护。该系列可轻松满足从标准真空到超高真空的所有真空隔离要求。
法兰连接、密封件材质或额外真空端口的各种设计选项使其易于集成到任何应用中。
15.2 超高真空隔离闸阀可搭配气动驱动器和电磁阀使用；作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电压为 24 VDC，但可根据要求提供其他电压。阀门位置由最高可烘烤至 140℃ 的机械或电气位置指示器指示。
法兰连接 ISO-F、CF-F (15.2)、ASA-LP 和 JIS为标准选项，还可提供客户指定法兰。可集成 定制功能，例如特殊的带窗闸门和带箔阀板，或额外的真空端口。
这些阀门配有氟橡胶密封。可根据要求使用其他密封件材质。
15.2 超高真空隔离闸阀主要特点
特点:
- 避免产生颗粒的 MONOVAT 技术
- 设计可靠、成熟
- 分体式
- 进给机构以焊接金属波纹管密封
优势:
- 软驱动
- 性能可靠
- 轻松维护
- 购置成本低
技术数据
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尺寸 |
DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), DN 160 (6") | ||
|---|---|---|---|
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驱动器 |
气动 |
双作用 |
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阀体材料 |
铝 |
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阀体材料 |
轴进给机构 |
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标准法兰 |
ISO-F, ASA-LP, JIS | ||
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泄漏率 |
阀体 |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
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阀座 |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
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压力范围 |
1 × 10-7 mbar to 1 bar (绝对压强) | ||
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可承受压差 |
阀板 |
≤ 1.2 bar | |
|
打开时 |
≤ 30 mbar | ||
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首次维护前开关次数 |
500 000 | ||
|
温度 |
阀体 |
≤ 120 °C | |
|
驱动器 |
≤ 100 °C | ||
|
电磁阀 |
≤ 50 °C | ||
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位置指示器 |
≤ 80 °C | ||
|
加热和冷却速率 |
≤ 30 °C h-1 | ||
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材质 |
阀体 |
EN AW-6082 (3.2315) | |
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波纹管 |
AISI 633 (AM350) | ||
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密封 |
阀帽阀板 |
氟橡胶 (Viton®) |
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安装位置 |
任何位置 |
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电磁阀 |
24 VDC，5.4 W（可根据要求提供其他值） |
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位置指示器：触点额定值 |
电压 |
≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
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电流 |
≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
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阀门位置指示 |
视觉（机械） |
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