在所有条件下均能可靠隔离

10.8 超高真空闸阀采用 VATLOCK 技术,该技术旨在提供可靠的密封,同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。由于关闭端位置处的机械锁定,VATLOCK 机构还可以防止阀门故障。

10.8 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。其已成为 DN 63 – 320 mm (2.5" – 12.5") 尺寸的超高真空隔离标准。凭借坚固、无润滑剂的设计和可烘烤至 250℃ 的能力,其满足工业和研究应用的最高真空要求。

该系列提供了各种驱动和法兰连接设计选项,因此可以轻松集成到任何超高真空系统中。各种特殊选项(例如窗、端口和替代密封件材质)可确保最适合于应用。


关闭
打开

10.8 超高真空闸阀可提供带电磁阀的手动、气动和三位气动式三种类型,作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电压为 24 VDC,但可根据要求提供其他电压。阀门位置由一个带有切换触点的双位置指示器指示(2 个开关分别对应“打开”和“关闭”位置)。

法兰连接器的标准选项为 ISO-F、CF-F、ASA- L 和 JIS。可集成带和不带水冷的客户指定 法兰。

阀板密封可以是 O 型密封圈,也可以是尺寸最大为 DN 200 mm (7.8") 的硫化密封。硫 化密封在真空性能和可靠性方面具有优越的性能,因而其是推荐的解决方案。


10.8 超高真空闸阀主要特点

特点:

  • 设计可靠、成熟
  • 不含润滑剂,最高可烘烤至 250℃
  • 金属阀帽密封
  • 具有自动防故障功能的 VATLOCK 技术
  • 坚固的不锈钢阀体
  • 进给机构以焊接金属波纹管密封

优势:

  • 在弹性体密封闸阀类中拥有最佳真空性能
  • 运行可靠
  • 维护量少,可轻松维护
  • 购置成本低
技术数据
尺寸
 
DN 63–320 mm (2½"–12")
驱动器
三位气动式
双作用
 
手动
带手摇曲柄
阀体材料
 
不锈钢
进给机构
 
波纹管
标准法兰
  ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS
泄漏率
阀体
< 5 × 10-10 mbar ls-1
 
阀座
< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围
 
  1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (绝对压强) (DN 63 – 200)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (绝对压强) (DN 250 – 320)
阀板可承受压差
 
阀板
≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
 
打开时
≤ 30 mbar
首次维护前开关次数
  50 000
温度
阀体
≤ 250 °C 打开 / ≤ 200 °C 关闭
 
气动驱动器
≤ 200 °C
 
电磁阀
≤ 50 °C
 
位置指示器
≤ 80 °C
 
手动驱动器
≤ 250 °C
加热和冷却速率
  ≤ 50 °C h-1
材质
阀体
AISI 304 (1.4301)
 
机构
 
AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)
 
波纹管
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
金属
  阀板 氟橡胶 (Viton®)
安装位置
 
任何位置
电磁阀
  24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值)
位置指示器:触点额定值 
电压
≤ 50 VAC/DC
 
电流
≤ 1.2 A
阀门位置指示
 
视觉(机械)
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