快速、可靠的超高真空和极高真空系统保护的标准

对快速关闭挡板的主要要求是快速反应以及在空气涌入的情况下保持可靠。因空气涌入造成的超高真空或极高真空环境的损失(尤其是加速器或储存环等大体量的损失),可能造成污染、组件损坏等严重问题,并且需投入精力恢复所需真空水平。

77.3 超高真空快速关闭挡板在压力上升时具有快速的关闭反应,可保护真空水平。该系列可在 10 毫秒内(具体取决于挡板直径)以极快的速度关闭真空线。关闭挡板会几乎立即将空气涌入减少至 mbar l/s 级别。这为启动全金属阀门留了时间,全金属阀门用于残留泄漏的密封。防止损坏是分秒必争的,因此,77.3 系列为系统保护设定了标准。

77.3 系列作为槽挡板阀 (DN 40-160) 设计,但 DN 40 版本带有环形开口而非槽型开口。该系列为气动驱动。阀体的标准烘烤温度为最高 300℃,驱动器为最高 50℃。阀盖为金属密封,馈通件以焊接金属波纹管密封。

快速关闭闸板由独立的控制器控制。该控制器通过定期检查系统的就绪状态、传感器及其连接来确保快速关闭。控制器采用模块化设计,可针对不同的挡板/传感器布置进行配置。检测到空气涌入时,控制器启动,同时快速关闭挡板也会启动,这是一个在超高真空或极高真空条件下密封的全金属阀门。快速关闭挡板的状态同样通过该控制器提供,以便进行远程输出。同理,挡板也可以通过控制器的界面进行远程控制。

经证明,77.3 超高真空快速关闭挡板系列可在各种工艺条件下的领先加速器和储存环设施中提供可靠性能,成为了超高真空和极高真空系统可靠保护的标准。


VAT 77.3 超高真空快速关闭挡板 - 槽挡板 DN 40 (关闭)
槽挡板 DN 40 (关闭)
VAT 77.3 超高真空快速关闭挡板 - 槽挡板 DN 63 – 160 (关闭)
槽挡板 DN 63 – 160 (关闭)

77.3 超高真空快速关闭挡板的阀体材料为不锈钢。标准法兰连接器为 CF-F。客户指定法兰和特定槽尺寸可选。

该系列阀体的辐射抗性为 108 Gy,气动驱动器的辐射抗性为 104 Gy。

转动挡板的首次维护前标准时间为 2000 次开关,槽挡板为 5000 次开关,这意味着该阀门系列在用于其目的时实际是免维护的。77.3 超高真空快速关闭挡板通常与全金属阀门结合使用。


77.3 超高真空快速关闭挡板的主要特点

特点:

  • 兼容超高真空和极高真空部件
  • 快速的高真空保护关闭机制
  • 高度可靠

优势:

  • 技术成熟
  • 实际免维护
  • 拥有成本较低
技术数据
尺寸   DN 40 (1½"), DN 63 (2½"), DN 100 (4"),
DN 160 (6")
驱动器 气动 双作用
阀体材料   不锈钢
馈通件   波纹管
标准法兰   CF-F
泄漏率 阀体 < 1 × 10-10 mbar ls-1
  阀座 < 30 mbar ls-1
压力范围   超高真空至 1.2 bar(绝对压强)
首次维护前开关次数 开槽挡板
转动挡板
5000次
2000次
烘烤温度 阀体 ≤ 300°C
  驱动器 ≤ 50 °C
辐射抗性 阀体
气动驱动器
108 Gy
104 Gy
材料 阀体 AISI 316L (1.4435, 1.4404)
  机构 AISI 304 (1.4301) (DN 40) 
AISI 316L (1.4435) (DN 63 – 160)
  阀板 AISI 316L (1.4404)、镀银(开槽挡板)
钛(转动挡板)
   波纹管 AISI 633 (AM 350)(开槽挡板)
AISI 316L (1.4404)(转动挡板)
密封 阀盖 金属
安装位置   阀座侧(带标记)
与气流涌动方向相反

 

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