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在超高真空应用中性能也不受影响
对角阀在超高真空应用中的主要要求是可靠的性能、粒子排放和产生率以及放气率。28.4 超高真空角阀系列在这些领域中设定了标准。该系列旨在将粒子的排放和产生以及放气降至最低。
该阀门系列配备稳定的可旋转 CF 法兰和阀盖金属密封件，手动版适合最高 200℃ 的烘烤温度，气动驱动版适合最高 150℃ 的烘烤温度。
28.4 系列适用于真空系统抽气和排气。可承受高压差。28.4 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其在超高真空应用中卓越的可靠性。
28.4 超高真空角阀基于可靠且坚固的核心设计，提供手动或气动驱动，DN 为 16 mm - 63 mm (5/8" - 2½")。
标准法兰连接器为 CF-R，但客户可以指定法兰类型。28.4 系列使用金属阀盖密封件和阀板氟橡胶密封阀板，但阀板密封件可以选择其他材料。馈通件采用波纹管密封。
视觉位置指示以及电子指示器为标准选项。如果需要，阀门可以由设备上或远距离位置的电磁阀控制。
除这些标准选项外，还可以进一步定制阀门。
28.4 超高真空角阀的主要特点
特点：
- 适合超高真空应用
- 可承受高压差
- 较长的免维护周期
优势：
- 卓越的可靠性
- 可根据各种要求进行调整
- 拥有成本较低
技术数据
| 尺寸 | DN 16 (⅝"), DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 63 (2½’’) | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 单作用，带闭合弹簧 (NC) | |
| 手动 | 带可拆卸方向盘 | ||
| 阀体材料 | 不锈钢 | ||
| 馈通件 | 波纹管 | ||
| 标准法兰 | CF-R | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 5 × 10-10 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 5 × 10-10 mbar to 5 bar（绝对压强） | ||
| 阀板可承受压差 | 开启方向 | ≤ 2 bar | |
| 关闭方向 | ≤ 5 bar | ||
| 打开时可承受压差 | ≤ 1 bar | ||
| 首次维护前开关次数 | 300万次 | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
| 气动驱动器 | ≤ 150 °C | ||
| 手动驱动器 | ≤ 120 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 80 °C | ||
| 位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
| 材料 | 阀体材料 DN 16、40 DN 63 |
AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
|
| 阀板 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) | ||
| 波纹管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) | ||
| 密封 | 阀盖 | 金属 | |
| 阀板 | 氟橡胶 | ||
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 24 VDC（可根据要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 电压 | 5 – 50 VAC/DC | |
| 电流 | 5 – 100 mA | ||
| 阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
