59.0 超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。该系列阀门采用全金属设计，是满足超高真空和极端超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。
59.0 系列的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置，增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭，不会出现任何密封疲劳风险。
此外，59.0 系列采用全金属设计（高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封），因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。
59.0 系列已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。其已成为超高真空和极高真空应用中可变泄漏阀的标准解决方案。
59.0 超高真空全金属可变泄漏阀提供 DN为16 mm (5/8") 的角阀或内联阀，带手动驱动器，或带配有步进电机的集成式或可拆卸压力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根据烘烤过程中的情况，可以在烘烤过程中取下驱动器。标准法兰为 CF-R，固定到位。
隔膜采用“硬对硬”密封技术，阀门在整个使用寿命内可进行 40 万次控制循环和 1 万次密封关闭循环，无需任何维护，其可作为零部件使用，并且易于更换。
|
尺寸
|
DN 16 (⅝") | |||
|---|---|---|---|---|
|
驱动器
|
手动
|
方向盘
|
||
|
带步进电机的集成式或可拆卸压力控制器
|
||||
|
阀体材料
|
不锈钢
|
|||
|
标准法兰
|
CF-R | |||
|
密封技术
|
隔膜
|
|||
|
泄漏率
|
阀体
|
< 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
|
阀座
|
< 1 × 10-10 mbar ls-1 | |||
|
压力范围
|
超高真空至 2bar（绝对压强）
|
|||
| 压差 | 打开时 | ≤ 10 bar | ||
|
死区
|
角阀：
|
阀座侧
侧端口
|
2.7 cm3 1.1 cm3 |
|
|
内联阀：
|
阀座侧
侧端口
|
0.98 cm3 1.01 cm3 |
||
|
首次维护前开关次数
|
20 000 | |||
|
烘烤温度
|
阀体
|
≤ 300 °C | ||
|
手动驱动器
|
≤ 300 °C | |||
|
带步进电机的控制器
|
≤ 50 °C | |||
|
加热和冷却速率
|
≤ 60 °C h-1 | |||
|
材料
|
阀体
|
AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404) | ||
|
隔膜
|
AISI 301 (1.4310), 镀金 | |||
|
安装位置
|
任何位置
|
|||
|
阀门位置指示
|
视觉（比例）
|
|||
|
流导（分子流）
|
0.05 ls-1 | |||
|
可调节气流
|
1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1 | |||
|
重量
|
带手动驱动器
|
0.94 kg / 2.07 lbs | ||
|
带受控步进电机
|
2.5 kg / 5.5 lbs | |||
