适用于最小气流的高精度计量

59.0 超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流(1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1)。该系列阀门采用全金属设计,是满足超高真空和极端超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。

59.0 系列的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置,增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭,不会出现任何密封疲劳风险。

此外,59.0 系列采用全金属设计(高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封),因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。

59.0 系列已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。其已成为超高真空和极高真空应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

VAT 59.0 超高真空全金属可变泄漏阀 - 角阀带手动驱动器
角阀带手动驱动器
VAT 59.0 超高真空全金属可变泄漏阀 - 内联阀带手动驱动器
内联阀带手动驱动器
VAT 59.0 超高真空全金属可变泄漏阀 - 角阀带集成控制器
角阀带集成控制器
VAT 59.0 超高真空全金属可变泄漏阀 - 角阀带用于烘烤的口拆卸控制器
角阀带用于烘烤的口拆卸控制器

VAT 59.0 超高真空全金属可变泄漏阀 - 关闭 / 打开
关闭 / 打开

59.0 超高真空全金属可变泄漏阀提供 DN为16 mm (5/8") 的角阀或内联阀,带手动驱动器,或带配有步进电机的集成式或可拆卸压力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根据烘烤过程中的情况,可以在烘烤过程中取下驱动器。标准法兰为 CF-R,固定到位。

隔膜采用“硬对硬”密封技术,阀门在整个使用寿命内可进行 40 万次控制循环和 1 万次密封关闭循环,无需任何维护,其可作为零部件使用,并且易于更换。


59.0 超高真空全金属可变泄漏阀主要特点

特点:

  • 适用于最小气流的高精度气体计量
  • 精确可重复的气流设置
  • 可靠的持续密封
  • 耐腐蚀和腐蚀性气体

优势:

  • 在极小气流下可实现最佳压力控制
  • 工艺可控性增强
  • 正常运行时间长
技术数据
尺寸
  DN 16 (⅝")
驱动器
手动
方向盘
 
带步进电机的集成式或可拆卸压力控制器
阀体材料
 
不锈钢
标准法兰
  CF-R
密封技术
 
隔膜
泄漏率
阀体
< 1 × 10-10 mbar ls-1
 
阀座
< 1 × 10-10 mbar ls-1
压力范围
 
超高真空至 2bar(绝对压强)
压差 打开时 ≤ 10 bar
死区
角阀:
阀座侧
侧端口
2.7 cm3
1.1 cm3
 
内联阀:
阀座侧
侧端口
0.98 cm3
1.01 cm3
首次维护前开关次数
  20 000
烘烤温度
阀体
≤ 300 °C
 
手动驱动器
≤ 300 °C 
 
带步进电机的控制器
≤ 50 °C 
加热和冷却速率
  ≤ 60 °C h-1
材料
阀体
AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
 
隔膜
AISI 301 (1.4310), 镀金
安装位置
 
任何位置
阀门位置指示
 
视觉(比例)
流导(分子流)
  0.05 ls-1
可调节气流
  1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
重量
带手动驱动器
0.94 kg / 2.07 lbs
 
带受控步进电机
2.5 kg / 5.5 lbs
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