在所有条件下均能可靠隔离

16.2 高真空摆式隔离阀提供了可靠的隔离性能,并结合了低颗粒数和低颗粒活化。特别平滑的开闭运动造就了优秀的颗粒性能。

它是苛刻工艺中隔离要求的理想选择,例如y应用在蒸发器和溅射中。16.2阀门提供了一个3位气动、单作用带关闭弹簧或标准气动、单作用带关闭弹簧。

由于其特殊的分体式设计,它允许在不拆卸管道连接或工艺室连接的情况下进行维护。其纤细的设计使16.2尺寸的隔离阀可以直接安装在工艺室中,减少了通常在工艺室-阀门-泵连接中所需要的体积。

16.2系列很容易集成到各种真空工艺凭借其坚固的设计和各种设计选项。

16.2系列已经安装在全球数百个不同工艺条件下的批量和在线生产系统中,它在各方面都证明了其出色的性能。

Pneumatic
3-position pneumatic

16.2高真空摆式隔离阀有铝制的,阀体经硬阳极处理或镀镍,有ISO-F、ASA-LP和JIS的标准法兰接头。可以集成客户特定的法兰。其他更多的选择是用于粗加工(旁路)、通风或用于量具、加热方案的端口,以及板上的硼硅酸盐或蓝宝石玻璃窗口。


16.2 高真空摆式隔离阀的主要特点

特点:

  • 在严酷的工艺环境中具有可靠的隔离作用
  • 低冲击操作,低颗粒活化
  • 工艺惰性 - 残余气体(RGA)非常低

优势:

  • 高度正常运行时间
  • 运行成本低
  • 运行成本低
  • 技术数据
  • 下载文件
尺寸   DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"),
DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20")
驱动器 气动 带闭合弹簧(NC)的单作用
  3位气动 带闭合弹簧(NC)的单作用
阀体材料  
贯通性   旋转式贯通件
标准法兰   ISO-F, ASA-LP, JIS
泄漏率 阀体;阀座 < 1 × 10-8 mbar ls-1
压力范围   1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强)
阀板可承受压差   ≤ 1.2 bar
打开时可承受压差 DN 200
DN 250 - 500
≤ 10 mbar
≤ 5 mbar
首次维护前开关次数   20万次
温度 阀体
驱动器
电磁阀
位置指示器
≤ 120 °C
≤ 80 °C
≤ 50 °C
≤ 80 °C
加热和冷却速率   ≤ 30 °C h-1
材料 阀体,碟型,密封圈
DN 200-400
DN 500
贯通件(与介质接触的部分)

EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42100 (3.2371)
AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301)
密封 阀帽 碟型 活力 贯通件 氟橡胶 (Viton®)
安装位置   任何位置
电磁阀   24 V DC, 5.4 W (可根据要求提供其他值)
位置指示器:触点额定值 电压
电流
≤ 50 V AC/DC
≤ 1.2 A
阀门位置指示   视觉(机械)
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