太阳能薄膜沉积
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适用于异常敏感的生产过程
对带有软抽功能的阀门的主要要求是避免阀门开启期间的湍流，因为这样可能会对工艺造成不良影响，例如粒子生成。此外，阀门开启期间的高压差导致的压力快速变化可能会导致突发的冷凝效应，可能会对工艺参数造成不良影响。29.1 带软抽功能的高真空内联阀避免了这个问题。
29.1 的软抽功能通过闭合阀板中的可调节开孔实现。阀盖中的调整轮可以微调软抽效果。这样可以确保校准至所需的工艺参数。
为实现简单且精确的调整以及轻松的重置，调整轮带有 11 个位置标记。这些标记便于再现设置以及将设置复制到将要运行相同设置的其他阀门。
该系列还提供角阀类型 (29.0)。
29.1 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的“软”作用性能。
软抽功能的一个积极作用是减轻或避免任何脉冲声。这样可以形成更安静的生产/运行环境。
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29.1 带软抽功能的高真空内联阀基于坚固且可靠的核心设计。气动驱动器为单作用，这意味着闭合弹簧会在未施加气动压力时关闭阀门。 该系列包括 DN 为 25-50 mm (1" - 2") 的铝或不锈钢类型。
法兰连接的标准选项为 ISO-KF，但定制法兰也可以集成。光学位置指示器和电子位置输出信号为标准选项。
29.1 带软抽功能的高真空内联阀的主要特点
特点：
- 软抽功能可避免冷凝和粒子产生
- 轻松再现软启动设置
- 即使在高压差下，依然功能齐全
优势：
- 避免湍流或压力脉冲
- 卓越的可靠性
- 免维护运行时间长
- 可快速轻松地进行少量维护
技术数据
| 尺寸 |
DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), |
||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 单作用，带闭合弹簧 (NC) | |
| 阀体材料 | 铝或不锈钢 | ||
| 馈通件 | 波纹管 | ||
| 标准法兰 | ISO-KF | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar（绝对压强） | ||
| 阀板可承受压差 | 开启方向 | ≤ 1.2 bar | |
| 关闭方向 | ≤ 1.2 bar | ||
| 打开时可承受压差 | ≤ 1 bar | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
| 驱动器 | ≤ 120 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 80 °C | ||
| 位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
| 材料 | 主阀体：铝 | EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6063 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315) |
|
| 主阀体：不锈钢 | AISI 304 (1.4301) , AISI 316L (1.4404) | ||
| 软抽阀体 | EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6063 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315) |
||
| 阀板 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) or AISI 304L (1.4306) | ||
| 波纹管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316Ti (1.4571) | ||
| 密封 | 阀盖、阀板 | FKM | |
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 24 VDC，2.5 W（可根据要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 电压 | 5 – 50 VAC/DC | |
| 电流 | 5 – 100 mA | ||
| 阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
