在所有条件下均能可靠隔离

11.1 高真空闸阀采用 VATLOCK 技术,该技术旨在提供可靠的密封,同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。由于关闭端位置处的机械锁定,VATLOCK 机构还可以防止阀门故障。

11.1 系列及其前身 11.0 已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。它们已成为 DN 63-320 mm (2.5”- 11.5”) 尺寸的任何高真空隔离要求的标准。

凭借自身坚固的设计,11.1 系列满足高真空闸阀可靠运行的所有要求。11.1 旨在可靠地执行特别多的过程周 期,为通用高真空闸阀设定了标准。

该系列提供了各种驱动和法兰连接设计选项,因此可以轻松集成到任何高真空系统中。各种特殊选项(例如窗和端口)可确保最适合于应用。

11.1 高真空闸阀

11.1 高真空闸阀 - 关闭
关闭
11.1 高真空闸阀 - 打开
打开

11.1 高真空闸阀具有手动、气动和三位气动式三种型式。如果需要,阀门可以由设备上或远距离位置的电磁阀控制。电磁阀的标准电压为 24 VDC,但可根据要求提供其他电压。阀门位置由一个带有切换触点的双位置指示器指示,两个开关分别对应“打开”和“关闭”位置。

法兰连接器的标准选项为 ISO-F、CF-F、ASA- L 和 JIS。可集成带和不带水冷的客户指定 法兰。

阀板密封可以是 O 型密封圈,也可以是尺寸最大为 DN 200 mm (8”) 的硫化密封。硫化密封在真空性能和可靠性方面具有优越的性能,因而其是推荐的解决方案。


11.1高真空闸阀主要特点

特点:

  • 设计可靠、成熟
  • 具有自动防故障功能的 VATLOCK 技术
  • 坚固的不锈钢阀体
  • 高循环设计
  • 进给机构以焊接金属波纹管密封

优势:

  • 在弹性体密封闸阀类中拥有最佳真空性能
  • 运行可靠
  • 免维修周期延长
  • 购置成本低
技术数据

尺寸

 

DN 63–320 mm (2½"–12")

驱动器

三位气动式

双作用

 

手动

带手摇曲柄

阀体材料

 

不锈钢

进给机构

 

波纹管

标准法兰

  ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS

泄漏率

阀体

< 5 × 10-10 mbar ls-1
 

阀座

< 1 × 10-9 mbar ls-1

压力范围

  1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (绝对压强) (DN 63 – 200)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (绝对压强) (DN 250 – 320)

阀板可承受压差

阀板

≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
 

打开时

≤ 30 mbar

首次维护前开关次数

  50 000

温度

阀体

≤ 250 °C 打开 / ≤ 200 °C 关闭
 

气动驱动器

≤ 200 °C
 

电磁阀

≤ 50 °C
 

位置指示器

≤ 80 °C
 

手动驱动器

≤ 250 °C

加热和冷却速率

  ≤ 50 °C h-1

材质

阀体

AISI 304 (1.4301)
 

机构

 

AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)
 

波纹管

AISI 316L (1.4404, 1.4435)
密封 阀盖 金属
  阀门 氟橡胶

安装位置

 

任何位置

电磁阀

  24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值)

位置指示器:触点额定值 

电压

≤ 50 VAC/DC
 

电流

≤ 1.2 A

阀门位置指示

 

视觉(机械)

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