1 × 10^-8 mbar 至 1.6 bar (abs)

11.1 高真空闸阀

指定产品

在所有条件下均能可靠隔离

11.1 高真空闸阀采用 VATLOCK 技术，该技术旨在提供可靠的密封，同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。由于关闭端位置处的机械锁定，VATLOCK 机构还可以防止阀门故障。

11.1 系列及其前身 11.0 已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。它们已成为 DN 63-320 mm (2.5”- 11.5”) 尺寸的任何高真空隔离要求的标准。

凭借自身坚固的设计，11.1 系列满足高真空闸阀可靠运行的所有要求。11.1 旨在可靠地执行特别多的过程周期，为通用高真空闸阀设定了标准。

该系列提供了各种驱动和法兰连接设计选项，因此可以轻松集成到任何高真空系统中。各种特殊选项（例如窗和端口）可确保最适合于应用。

11.1 高真空闸阀具有手动、气动和三位气动式三种型式。如果需要，阀门可以由设备上或远距离位置的电磁阀控制。电磁阀的标准电压为 24 VDC，但可根据要求提供其他电压。阀门位置由一个带有切换触点的双位置指示器指示，两个开关分别对应“打开”和“关闭”位置。

法兰连接器的标准选项为 ISO-F、CF-F、ASA- L 和 JIS。可集成带和不带水冷的客户指定法兰。

阀板密封可以是 O 型密封圈，也可以是尺寸最大为 DN 200 mm (8”) 的硫化密封。硫化密封在真空性能和可靠性方面具有优越的性能，因而其是推荐的解决方案。

特点:

优势:

尺寸		DN 63–320 mm (2½"–12")
驱动器	三位气动式	双作用
	手动	带手摇曲柄
阀体材料		不锈钢
进给机构		波纹管
标准法兰		ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS
泄漏率	阀体	< 5 × 10^-¹⁰ mbar ls^-¹
	阀座	< 1 × 10^-⁹ mbar ls^-¹
压力范围		1 × 10^-10 mbar to 1.6 bar (绝对压强) (DN 63 – 200) 1 × 10^-10 mbar to 1.2 bar (绝对压强) (DN 250 – 320)
阀板可承受压差	阀板	≤ 1.6 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
	打开时	≤ 30 mbar
首次维护前开关次数		50 000
温度	阀体	≤ 250 °C 打开 / ≤ 200 °C 关闭
	气动驱动器	≤ 200 °C
	电磁阀	≤ 50 °C
	位置指示器	≤ 80 °C
	手动驱动器	≤ 250 °C
加热和冷却速率		≤ 50 °C h^-1
材质	阀体	AISI 304 (1.4301)
	机构	AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200) AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)
	波纹管	AISI 316L (1.4404, 1.4435)
密封	阀盖	金属
	阀门	氟橡胶
安装位置		任何位置
电磁阀		24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值)
位置指示器：触点额定值	电压	≤ 50 VAC/DC
	电流	≤ 1.2 A
阀门位置指示		视觉（机械）