1 × 10^-8 mbar 至 3 bar (abs)

25.1 高真空钢瓶阀（内联型）

在恶劣工艺环境下提供最大流导

指定产品

任何条件下都能提供可靠的隔离

25.1 高真空钢瓶阀系列旨在用于包含携带腐蚀性物质和粒子的气体的恶劣工艺环境中，例如次晶圆厂工艺。该系列有角度 (25.0)、串联 (25.1) 和 3向2通路设计 (25.2) 可供选择，每个版本均采用最大电导率。

为提供耐用性和较长的正常运行时间，25.1 高真空钢瓶阀系列具有密封保护系统，兼具钢瓶设计的高流导和更长的密封寿命等优势。该密封保护系统通过钢瓶倾斜-转动-倾斜的动作工作，在该动作中，钢瓶会通过提起动作移除阀座上的闸封，以避免任何摩擦、密封磨损以及粒子的生成。在全开启（90° 旋转后）的情况下，倾斜-转动-倾斜的动作还会将密封件轻柔地压向阀体，防止密封件接触气流中可能存在的磨蚀粒子。断电时，阀体机构将被锁定在打开或关闭位置，维持阀体最后的位置。

25.1 高真空钢瓶阀系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。

25.1 高真空钢瓶阀为气动型，带有作为外部安装配件的电磁阀。阀门位置通过 LED 灯（10-30 VDC，5-100 mA）指示。

法兰连接器的标准选项为 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型”。标准阀板密封采用氟橡胶。可集成客户指定法兰以及特殊功能，例如加热筒、其他密封材料或不锈钢类型。

25.1 高真空钢瓶阀的主要特点

特点：

适用于恶劣环境，设计可靠、成熟
倾斜-旋转-倾斜机制，保护密封
最大流导

优势：

性能可靠
维护量少，可轻松维护
拥有成本较低

技术数据

尺寸		DN 16 (⅝"), DN 25 (1"), DN 40 (1½")
驱动器	气动	双作用
阀体材料		铝
标准法兰		ISO-KF、ISO-KF“羊角型”
泄漏率	阀体、阀座	< 1 × 10^-9 mbar ls^-1
压力范围		1 × 10^-8 mbar to 3 bar（绝对压强）
阀板可承受压差	关闭方向开启方向	≤ 1.2 bar ≤ 3.0 bar
打开时可承受压差		≤ 1.2 bar
首次维护前开关次数		10万次
温度	阀体驱动器位置指示器	≤ 120 °C ≤ 120 °C ≤ 80 °C
材料	阀体	EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315)
	阀板、阀盖法兰	EN AW-6082 (3.2315)
	轴	AISI 316L (1.4435)，带 Ni-PTFE 涂层
	阀板紧固螺钉、垫圈	A4-80，带 Ni-PTFE 涂层
密封	阀盖、阀板、馈通件	氟橡胶
馈通件		旋转馈通件
安装位置		任何位置
位置指示器：触点额定值	电压电流	10 – 30 VDC 5 – 100 mA
阀门位置指示		LED