64.2 高真空控制闸阀

可靠精确地控制标准真空工艺

64.2 高真空控制闸阀设计用于在溅射或蚀刻工艺等高循环真空工艺中进行可靠精确的控制和隔离。该系列满足耐用性、模块性和可维护性的标准要求，并且特别注重长正常运行时间和低购置成本。

64.2 高真空控制闸阀采用 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。设备上压力控制器可计算所需的阀板位置以达到规定的设定点压力。步进电机进行驱动，同时编码器监控阀板位置。这样可确保快速准确地控制过程压力。位于关闭位置的专用 VATLOCK 锁定机制能够确保在断电的情况下，将密封隔离与故障保护关闭相结合。

64.2 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。凭借自身坚固的设计，64.2 高真空控制闸阀满足高循环真空控制闸阀的所有要求。