可靠精确地控制标准真空工艺

64.2 高真空控制闸阀设计用于在溅射或蚀刻工艺等高循环真空工艺中进行可靠精确的控制和隔离。该系列满足耐用性、模块性和可维护性的标准要求,并且特别注重长正常运行时间和低购置成本。

64.2 高真空控制闸阀采用 VATLOCK 技术,可提供可靠的密封,同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。阀板可充当节流元件,改变阀门开度的流导特性。设备上压力控制器可计算所需的阀板位置以达到规定的设定点压力。步进电机进行驱动,同时编码器监控阀板位置。这样可确保快速准确地控制过程压力。位于关闭位置的专用 VATLOCK 锁定机制能够确保在断电的情况下,将密封隔离与故障保护关闭相结合。

64.2 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。凭借自身坚固的设计,64.2 高真空控制闸阀满足高循环真空控制闸阀的所有要求。


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为确保实现与各种真空应用的最佳集  成,64.2 高真空控制阀提供不同的设计变体,包括有不同选择的密封材料、法兰连接、粗抽(旁路)连接、排气或计量表以及特殊控制算法(自适应、固定 PI 下游/软抽)。

如果需要在有限的安装空间内安装 64.2 高真空控制闸阀,则可将驱动器和控制器安装在阀体的不同位置。此外,控制器可与阀门驱动器分开安装。

该系列的尺寸为 DN 100 - 400 mm (4" - 16")。


64.2 高真空控制闸阀主要特点

特点:

  • 设计可靠、成熟
  • VATLOCK 技术
  • 坚固的不锈钢阀体
  • 高循环设

优势:

  • 可靠精确的控制和隔离性能
  • 免维护周期延长
  • 购置成本低
技术数据
尺寸
  DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16")
驱动器
 
带有步进电机的集成压力控制器
阀体材料
 
不锈钢
馈通件
 
旋转馈通件
标准法兰
  ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS
泄漏率
阀体、阀座
< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围
DN 100 – 200
DN 250 – 400
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
阀板可承受压差(阀门关闭)
DN 100 – 200
DN 250 – 400
≤ 2 bar
≤ 1.2 bar
打开时可承受压差
  ≤ 30 mbar
首次维护前开关次数1)
压力控制
关闭/打开
100 万次
20 万次
温度
阀体
控制器
≤ 150°C
最大 50℃(建议 ≤35℃)
材料
阀体、阀门
 
AISI 304 (1.4301)
  机构 AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301),
AISI 420 (1.4034), AISI 420D (1.4037),
AISI 430 (1.4016)
密封
阀盖、阀板、馈通件
氟橡胶
安装位置
DN 100 – 350
DN 400
任何位置 水平位置
阀门位置指示
 
视觉(机械和控制器)

 

1) 最大值取决于操作条件和密封材料

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