溅射
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适用于流量较大的敏感生产流程
对带有软抽功能的阀门的主要要求是在阀门开启时避免湍流，因为湍流可能会在抽空负载锁定产生负面影响，例如反应气体的不平均分布或粒子旋流。此外，阀门开启时的高压差导致的压力快速变化可能会导致突发的冷凝效应，可能会对工艺参数造成不良影响。
29.2 带软抽功能的高真空角阀避免了这个问题。
29.2 的软抽功能使其非常适合需要通过大型潜在流导谱精确校准的大流量。大流导谱通过结合两个高真空角阀实现，其中，主阀与一个紧凑组件中的旁通阀互相作用。
阀门侧边的调整轮可以微调软抽效果。这样可以通过非常宽的流导谱校准至所需工艺参数。
为实现简单且精确的调整以及轻松的重置，调整轮带有 11 个位置标记。这些标记便于再现设置以及将设置复制到将要运行相同设置的其他阀门。
在此设计中，29.2 因其在精度和紧凑结构方面的出色性能脱颖而出。在其他配置中只能通过多个阀门和额外管道实现的功能，29.2 在一个解决方案中就能实现。
对于有冷凝倾向的温度敏感工艺，29.2 可配备集成的 PTC 加热器。
尤其是在压力条件不断变化、负载室体量大、要求苛刻的应用中（例如太阳能电池或显示器的制造），29.2 系列证明了其卓越的“软”运行性能。
双软抽功能的一个积极作用是减轻或消除任何脉冲噪音。这样可以形成更安静的生产/运行环境。
29.2 高真空角阀带有可调节软泵功能，基于可靠且坚固的核心结构，旨在进行长时间的免维护运行。该系列可快速轻松地进行所需维护。
由于其模块化设计，29.2 系列可提供主阀和旁通阀的不同组合：DN 为 100 mm 的主阀搭配 DN 为 25 mm 的旁通阀，DN 为 160 mm 的主阀搭配 DN 为 25、40 或 63 mm 的旁通阀。此外还存在两个气动驱动器选项：带闭合弹簧 (NC) 的单作用和双作用。29.2 系列提供铝或不锈钢设计。
标准法兰连接选项包括 ISO-KF 和 ISO-K，但定制法兰也可以集成。视觉位置指示器和电子位置输出信号为标准选项。
29.2 带软抽功能的高真空角阀的主要特点
特点：
- 可调节软泵功能
- 不同主阀和旁通阀的模块化组合
- 轻松再现软启动设置
- 即使在高压差下，依然功能齐全
优势：
- 避免湍流和压力脉冲
- 大流导范围，精确校准
- 免维护运行时间长
- 可快速轻松地进行少量维护
技术数据
| 尺寸 |
DN 100 (4"), DN 160 (6") |
||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 主阀双作用、软抽阀单作用，带闭合弹簧 (NC) | |
| 阀体材料 | 铝或不锈钢 | ||
| 馈通件 | 轴馈通件 | ||
| 标准法兰 | ISO-KF, ISO-K | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-7 mbar to 2 bar （绝对压强） | ||
| 阀板可承受压差 | 开启方向 | ≤ 1.2 bar | |
| 关闭方向 | ≤ 2.0 bar | ||
| 打开时可承受压差 | ≤ 1 bar | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
| 驱动器 | ≤ 80 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 80 °C | ||
| 位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
| 材料 | 主阀体：铝 | EN AC-42000 | |
| 主阀体：不锈钢 | AISI 304 (1.4301) , AISI 316L (1.4404) | ||
| 软抽阀体 | EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6063 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315) |
||
| 阀板 | AISI 316L (1.4404, 1.4435) or AISI 304L (1.4306) | ||
| 波纹管 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316Ti (1.4571) | ||
| 密封 | 阀盖、阀板 | 氟橡胶 | |
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 24 VDC，9.0 W（可根据要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 电压 | 5 – 50 VAC/DC | |
| 电流 | 5 – 100 mA | ||
| 阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
