过程控制和隔离
真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中，所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是：在规定的...
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在高温和高压工艺中实现可靠的压力控制和隔离
62.0 角控制阀系列适用于高压和/或高温环境（例如 ALD 或 CVD）下的真空工艺。62.0 系列的最高工作温度为 200℃，可提供非常精确的压力控制性能。得益于其电动线性驱动器，该系列阀门能够以最小流导通过顺畅且精细的控制循环地打开和关闭。集成式软抽控制功能通过避免与大多数传统气动驱动器相关的压力峰值来增强这一点。
设备上控制器（DN 80 和 DN 100 的外部控制器）提供服务端口连接和各种接口以连接到 PCU。阀门控制器的主要特点也是控制性能分析仪应用程序，通过该应用程序可以分析一段时间内阀门在各种工艺条件下的性能。
在断电情况下，62.0 系列还提供锁定“关闭”位置功能，以确保阀门密封。
62.0 角控制阀已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性和性能。其设定了角控制阀在可控性和阀门性能监控方面的基准。
62.0 角控制阀可提供 DN 为16-100 mm (5/8" – 4") 的尺寸。阀体材料为不锈钢，可选择镀镍。DN 为16-50 mm (5/8" - 2") 的尺寸也有铝制款式。阀盖和阀板采用氟橡胶或全氟橡胶密封。馈通件采用波纹管密封。
加热套为选件，而特殊的波纹管加热是 DN 80 和 DN 100 的额外选件。
控制器接口为 RS232、RS485、Logic（模拟/ 数字）、DeviceNet®、Profibus 和 EtherCAT。
62.0 角控制阀主要特点
特点:
- 高温运行
- 极精细的压力控制，无压力峰值
- 电动线性驱动器
- 集成式软启动，以减少粒子产生
- 控制性能分析仪应用程序
优势:
- 出色的压力可控性
- 在要求苛刻的条件下亦具有可靠的性能
- 易于系统集成
- 易于维护
- 购置成本低
技术数据
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尺寸
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DN 40 (1 1/2"), DN 50 (2") | DN 100 (4") | |
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驱动器
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线性驱动，带闭环控制的步进电机
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阀体材料
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铝、不锈钢
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不锈钢
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馈通件
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波纹管
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波纹管
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标准法兰
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ISO-KF | ISO-K | |
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泄漏率
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阀体
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< 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
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压力范围
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< 1×10-8mbar 至 1.4bar（绝对压强）
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< 1×10-8mbar 至 1.1bar（绝 对压强）
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压差
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阀板上，打开位置处
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≤ 1 bar | ≤ 1 bar |
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首次维护前开关次数
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节流
隔离
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200 万次
100 万次
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100 万次
20 万次
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温度
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标准（阀门/波纹管）
高温选件（阀门/波纹管）
控制器/驱动器环境
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≤ 80 °C ≤ 200°C 最大 50℃（建议 ≤
35℃）
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≤ 80°C ≤ 200°C ≤ 50℃（建议 ≤
35℃）
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材料
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阀体、阀板
波纹管
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铝EN AW-6082 (3.2315),
AISI 316L (1.4404 or 1.4435)AISI 316Ti (1.4571) |
不锈钢 316L (1.4404 or
1.4435)AISI 316Ti (1.4571) |
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密封
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阀盖、阀板
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氟橡胶
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氟橡胶
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安装位置
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任何位置
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任何位置
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