薄膜涂层
薄膜涂层工艺可以作用于许多不同的工艺，例如，CVD、PVD、MOCVD或PECVD。所有工艺的共同点是都在受控的大气条件下进行，例如在氩气环境和真空下。对真空和气体分...
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可以根据任何要求作出调整
角阀/内联阀的关键性能指标是可靠性与可变性。21.4 全真空迷你角阀/内联阀系列结合了可靠性和可变性。21.4系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的可靠性。凭借其电磁驱动器，它能在无法获得压缩空气的应用中满足密封和通风要求。该系列有角阀和内联阀设计选项，并配有多种法兰连接器和适配器配件，几乎可满足各种要求。
21.4 全真空迷你角阀/内联阀基于坚固可靠的核心设计，可提供 DN 为 5 的 ISO-KF 法兰和 DN 为4、8、10 的适配器以及 OD 为 ¼" 和 6 的管道连接器。电磁驱动器的布置周期为两百万次。
21.4 全真空迷你角阀/内联阀主要特点
特点:
- 易于安装
- 可承受高压差
- 免维护周期长
优势:
- 出色的可靠性和使用寿命
- 设计紧凑，占地面积小
- 购置成本低
技术数据
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泄漏率
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< 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
|---|---|---|
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压力范围
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电磁驱动器
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1 × 10-8 mbar to 10 bar (绝对压强) |
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首次维护前开关次数
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电磁驱动器 |
200 万次开关
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温度
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电磁驱动器
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≤ 40 °C |
| 材料 |
阀体、波纹管、阀板
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AISI 304 |
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密封
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氟橡胶
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馈通件
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电磁驱动器
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O 型圈密封的轴馈通件
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安装位置
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任何位置
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