极高真空全金属闸阀可在极端超高真空条件下实现可靠隔离

48.1 超高真空全金属闸阀系列旨在于阀门温度高达 300℃ 的高温环境以及在具有腐蚀性和冷凝介质的超高真空和极高真空应用中实现可靠隔离。其还能抵抗高达 108 Gy 的辐射。

这些全金属闸阀旨在实现最大流导,并采用了 VATRING“硬对硬”密封技术。这种动态全金属密封系统能够实现持续可靠的密封和稳定的闭合力。并且能够以相当低的轴向力实现高密封力。密封件采用不锈钢制成,仅能弹性变形。48.2 极高真空全金属闸阀系列的设计和测试使用寿命为 2 万次 (DN 16-200 mm) 和 5 000 次 (DN 250-320 mm)。但是,密封系统在清洁的真空环境中可实现 10 万次密封闭合。

48.1 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其卓越的可靠性。

驱动、法兰连接或附加真空口的各种设计选项使其易于将阀门集成在任何真空应用中。

手动
带紧凑型驱动器的气动阀
带伸展型驱动器的气动阀

关闭
打开

一个主要特点是“硬对硬”VATRING 密封系统,其他知名的 VAT 全金属阀门也采用了该技术。

该系列阀门提供 DN 为16 至320 mm (5/8" - 12") 的尺寸。标准法兰为 CF-F。

可以延长阀板体和驱动器之间的距离,以在打开和关闭位置最大限度地将烘烤温度提高至 300℃。其他设计选项还包括有窗的阀板以及粗抽、排气或计量表用端口。


48.1 极高真空全金属闸阀主要特点

特点:

  • 最大流导
  • VATRING 全金属“硬对硬”密封
  • 耐高温和抗辐射
  • 气动和手动驱动

优势:

  • 在极高真空条件下亦具有可靠的性能
  • 在指定的使用寿命内无需维护
  • 经现场验证的技术
  • 购置成本低
技术数据

尺寸

  DN 63 (2½"), DN 100 (4"),
DN 160 (6")

驱动器

手动

带操作盘
 

气动

双作用

阀体材料

 

不锈钢

馈通件

 

波纹管

标准法兰

  CF-F

泄漏率

阀体

< 1 × 10-10 mbar ls-1
 

阀座

< 1 × 10-10 mbar ls-1

压力范围

 

极高真空至 2 bar(绝对压强)

阀板可承受压差

  ≤ 2 bar

打开时可承受压差

DN 63 – 250 ≤ 500 mbar 1)

首次维护前开关次数

DN 16 – 200
DN 250 – 320
2万次
5000次

温度

阀体

≤ 300
 

手动驱动器

≤140℃(可选:≤200℃

 

气动驱动器

≤ 200 °C
 

电磁阀

≤ 80 °C
 

位置指示器

≤ 80 °C (Option: 200 °C)

加热和冷却速率

DN 16
DN 40 – 160
DN 200 – 320
≤ 80°C h-1
≤ 50°C h-1
≤ 25°C h-1

材料

阀体

AISI 316L (1.4404, 1.4435)
 

机构

AISI 316L (1.4404, 1.4435)
 

波纹管

AISI 316L (1.4435)

密封

阀盖

金属

 

阀板

金属

安装位置

DN 16 – 250
DN 320

任何要求的

电磁阀

 

24 VDC,2.5W(可根据要求提供其他值)

位置指示器:触点额定值

电压

≤ 50 VAC/DC
 

电流

80°C: ≤ 1.2 A 200°C: ≤ 1 A

阀门位置指示

 

视觉(机械)

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