半导体制造是一个不断创新的循环。新的和先进的半导体产品驱动着生产力不断提高。通常情况下,半导体制造商希望提高产量,以优化运营成本,降低每个芯片的成本。然而,老化的生产系统往往需要更多的维护,这可能导致运营成本的增加而不是减少相反效果。

        真空阀——传输阀或控制阀——是半导体工厂生产车间的一个关键组成部分,其可用性、性能和维护是工厂效率的决定性因素。作为世界领先的真空阀供应商,VAT为现有生产系统提供全面的升级改造的解决方案。

具有优势的“即插即用 ”解决方案

        作为 “即插即用 ”的解决方案,配备了所有必要的电缆、密封件和连接件,VAT的升级和改造提供了性能的即时改善——增强避免产生粉尘的性能、循环速度,可控性,以及延长维护时间间隔。所有这些都是以较低的经营成本进行的。

        “例如,用VAT 61.2系列蝶形控制阀对蚀刻系统进行改造,可以为大多数工艺带来巨大的产量提升,”VAT产品管理GSE主管丹尼尔·弗雷尔解释说,“VAT 61.2系列的精确可控性允许非常精确和可靠地控制流导,即便是在充满颗粒物负载的流态下。作为一个改造阀门,它完全适合于现有的空间,而且易于安装。”

其他主要优势包括:

  • 更高的性能,适用于更高要求和更快的工艺
  • 增强的工艺稳定性,使正常运行时间更长
  • 显著减少粉尘
  • 运行成本更低

        “VAT的升级改造是半导体制造商优化其现有生产系统生产率的一种快速、简单且具有成本效益的方式。”丹尼尔·弗雷尔总结道。