VAT以创新及高性能的真空阀解决方案而闻名,这些解决方案应用于全球高要求的真空工艺当中。半导体制造就是这样一个过程:由高洁净度的生产步骤决定了,必须避免任何有机或无机的污染。半导体表面上的一个微小的灰尘都会毁掉它,会限制生产质量并增加成本。因此,只使用高洁净度的元件是至关重要。这些元件在生产过程中表现为物理中性,不会释放任何颗粒物。

        因此,VAT在生产中使用特殊的清洗工艺以满足高洁净度的要求。这与标准解决方案相比有决定性的区别。"由于许多VAT客户的生产过程需要一个无污染的环境,我们在高洁净度清洁方面的专业知识是VAT的关键能力,"VAT洁净度主管克里斯汀·舍勒解释说。

        然而,许多非常有效的清洗剂——稀酸、碱和表面活性物质——都具有很强的腐蚀性,这为处理它们而引起的职业安全和环境保护问题带来一些挑战。

必须采用有效但具有腐蚀性的清洗剂吗?

        为了消除在处理、应用和处置过程中产生的任何风险,需要付出相当大的努力,这也是VAT在全球所有站点都遵循的ISO 14001的规定。为了减少风险、努力和最终的成本,VAT已经开始了一项为所有工厂开发替代清洁工艺的计划。第一批计划已经开始实施。

        以丙酮为例:这种无色、易燃的有机溶剂是一种非常有效的清洗剂,但在直接接触和大剂量使用时是有毒的。VAT不仅成功地减少了丙酮在自身清洁过程中的使用,而且在用于清洗油脂、油和其他污物的情况下,通过使用新开发的无残留高性能清洁剂完全取代了它。这种替代清洗剂不含卤素或芳香族溶剂,因此使用起来更加安全。

使用腐蚀性较小的清洁剂

        然而,除了替代清洁剂以外,VAT也在寻找创新的、经过改良的清洁方法,以更环保的方式清洁真空部件。克里斯汀·舍勒解释说,初步的试点测试表明,这种过程的改变可以和传统的清洁方法一样有效。例如,通过简单地重复使用效果较差但更安全的清洁剂进行清洗,VAT得到了与使用腐蚀性清洁剂相同的效果。而另一个选择是将不同的清洁方法以适当的组合和频率结合起来,得出的结果是:效果和使用旧的、更具攻击性的物质一样好。

通过持续的改进而变得更好

        VAT的环境项目经理海因茨·马尔克利与公司其他的化学和环境专家一起协调这些新工艺的开发和引进。"当然,这是一个持续的过程," 海因茨·马尔克利强调说。未来,VAT将继续寻找方法,进一步减少腐蚀性清洁剂的使用,进一步提高工作场所的安全性。